Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293822433 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM
ID: 293822433
Dielectric etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM ist ein vollautomatischer Ätzer (oder Ascher) für hohe Serienproduktion. Es ist eine einzige Wafer-Produktionsanlage, die in der Lage ist, bis zu 12 Wafer pro Lauf zu verarbeiten, was eine effiziente und flexible Produktion ermöglicht. Es ist ein Trockenätzsystem und verwendet die Stand-off-Plasmaquellentechnologie, um Materialien mit hoher Genauigkeit und Präzision abzuscheiden und zu ätzen. TEL Telius 305 SCCM ist auf einem robusten zweiachsigen Bühnentisch aufgebaut, der Wafer mit einer Größe von bis zu 12 "transportieren kann. Die in sich geschlossene integrierte Fördereinheit sorgt zudem für einen zuverlässigen Transport der Wafer mit einer Vielzahl angepasster Geschwindigkeitseinstellungen. Ein hochpräziser Z-Achsen-Piezoaktor sorgt für eine ideale und konsistente Wafer-Positionierung während des Ätzprozesses. Die Maschine ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungstechnologie ausgestattet, die eine automatisierte und präzise Steuerung von Verarbeitungsparametern ermöglicht, um jedes Mal die genauesten Ätzergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine hat die Fähigkeit, bis zu 10 Rezepte für wiederholbare Prozessabläufe zu speichern und ist in der Lage, verschiedene Materialien wie Silizium, Aluminium, Kupfer und viele andere Metalle und Legierungen zu ätzen. Der Ätzer ist mit einem vollautomatischen Sauberkeits- und Sicherheitsmodul ausgestattet, das ein Doppelgasförderwerkzeug für den Schutz von Inertgas während des Transfers sowie ein Stickstoffspülmittel umfasst, um jedes Mal saubere und partikelfreie Ätzergebnisse zu gewährleisten. Es ist ein sehr vielseitiges Ätzmodell, das für eine Vielzahl von Produktionslinien und Anwendungen geeignet ist. TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM ist eine effiziente und zuverlässige Ätzlösung, die den grundlegenden Produktionsanforderungen und Anforderungen gerecht wird und eine perfekte Kombination aus Flexibilität und Prozesssteuerungstechnologie für eine Vielzahl von Prozessen und Materialien bietet. Es ist eine sehr wirtschaftliche und vielseitige Maschine, die ideal für Hochvolumenätzen und andere Produktionsanwendungen ist.
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