Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #293593000 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin ist ein Ätzer/Ascher, der in der Halbleiter- und Flachbauelementproduktion eingesetzt werden kann. Es funktioniert, indem es eine Alternative von Druck und Temperatur verwendet, um Materialschichten von der Oberfläche eines Werkstücks zu entfernen. Der Telius SCCM verwendet eine Elektrode, um Material als elektrochemische Reaktion zu entfernen. Die Reaktion erfolgt zwischen den beiden Elektroden (Werkstück und montierte Elektrode), die anodische und kathodische Ionen erzeugen, die nichtleitendes Material zur Substratoberfläche eskortieren. Diese wird dann vom Substrat entfernt. Diese Art des Ätzens wird als „Trockenätzen“ bezeichnet, da das Verfahren ohne den Einsatz von Ätzchemikalien oder Lösungsmitteln durchgeführt wird. Der Telius SCCM ist eine vollautomatische Ausrüstung und bietet eine hohe Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Es bietet Präzisionskontrolle über Ätzfläche, Tiefe und Oberflächenrauhigkeit, um höchste Qualitätsätzergebnisse zu gewährleisten. Das Verriegelungssystem bietet Sicherheit und kann programmiert werden, um Schäden am Produkt zu verhindern. Die Einheit ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien (einschließlich Kunststoff, Keramik und Halbleiter) zu verarbeiten. Es kann auch für Halbleiteranwendungen wie Dual-Damascen, Ringätzen und Flachgrabenätzen (STI) verwendet werden. Mit dieser Maschine kann eine hohe Ätzgenauigkeit erzielt werden, und die Gleichmäßigkeit des Ätzbereichs wird bei sehr geringer Oberflächenvariation erreicht. Die Ätzergebnisse sind rückstandsfrei oder verschmutzungsfrei und haben das Potenzial, hohe Ausbeuten zu ermöglichen. Der Telius SCCM ist ideal für die Herstellung von Halbleiter- und Flachbildschirmen, bei denen eine hohe Prozessgenauigkeit und Wiederholgenauigkeit erforderlich ist. Das Werkzeug ist in der Lage, hochgenaue Ätzungen mit geringer Oberflächenvariation und mit minimalem Ätzrückstand oder Verschmutzung zu erzeugen. Dies macht es eine gute Wahl für Prozesse, bei denen außergewöhnliche Ausbeute und Qualität gefordert sind. Die hohe Endfähigkeit des Telius SCCM macht es perfekt für die anspruchsvollsten Aufgaben.