Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin (ein Ätzer/Ascher) ist eine hochentwickelte Ätzmaschine für hochpräzise, hochdurchsatzreiche und effiziente Herstellung von Halbleiterscheiben. Es wurde speziell für Anwendungen wie MEMS-Geräte, CMOS, ASICs und andere entwickelt, die komplexe Ätzprozesse erfordern. Die Maschine hat Schrittmotor und Legierungsspindelnpositionierungstechnologie für hoch genaue und repeatable Ergebnisse zusätzlich zu einer eingebetteten Bildanerkennungsausrüstung, um materiellen Fluss zu kontrollieren. Es ist auch mit einem 4-Achsen-Hochgeschwindigkeits-präzisen Servosystem und automatisiertem Wafer-Handling für eine schnelle und effiziente Fertigung ausgestattet. Das Gerät bietet eine präzise Steuerung von Ätzgasen, Mustern und Temperaturen und ermöglicht eine Prozesskontrolle mit hoher Zuverlässigkeit. Es verfügt auch über eine eingebaute schnelle Gasschaltmaschine, um Abgas zu minimieren, sowie ein Echtzeit-Temperaturregelwerkzeug, das unerwünschte Temperaturänderungen verhindert. Die Anlage ist für die Herstellung von mehreren Materialien, einschließlich Silizium, Quarz, Chrom und Wolfram. Es ist auch in der Lage, Wafer bis zu 8 Zoll über mit Losgrößen von bis zu 100 Stück zu handhaben. Mit seiner intuitiven Touchscreen-Oberfläche und den leistungsstarken Softwarefunktionen ist TEL Telius SCCM Shin eine ideale Wahl für den Prototypenbau und die Serienfertigung von Halbleiterbauelementen.