Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9353062 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin ist ein Ätzer/Ascher zur Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Sie ist Teil der Telius-Serie hochpräziser Ätzsysteme von TEL. Der SCCM Shin nutzt die Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Technologie, um Muster mit hoher Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf Wafern zu ätzen. Das Gerät ist mit einem voll integrierten Prozessleitsystem ausgestattet, das eine Vielzahl von präzisen Ätzrezepten ermöglicht. Das SCCM Shin ist mit einer Kammer beladen, die entweder 8 Zoll oder 12 Zoll Siliziumwafer verarbeiten kann, sowie Galliumarsenid und Indiumphosphid-Wafer. Es ist mit einer oder zwei regulären ICP (Inductively Coupled Plasma) -Quellen ausgestattet, zusammen mit einer einzigartigen zweiten Source-Option, der HF-Vorspannung, für eine bessere Ätzkontrolle und Genauigkeit. Das Gerät verfügt auch über eine schnelle Wafer-Rotationsmaschine, um seine Ätzgeschwindigkeit zu erhöhen, und eine Umgebungszentrifugenquelle, um den DRIE-Prozess effizienter zu machen. Der SCCM Shin ist hochflexibel und anpassbar. Es kann mit einer Vielzahl anderer Geräte wie Lastschlösser, Auspuffanlagen und einer entfernten Plasmaquelle integriert werden, um seine Verarbeitungsfunktionen weiter zu optimieren. Das Werkzeug ist auch in der Lage, präzise automatisierte Proben-Tracking und Wafer-Handling. In seiner Prozesskammer nutzt das SCCM Shin eine einzigartige Kombination aus drei Gasquellen, um verschiedene Ätzrezepte zu produzieren, darunter isotrope und anisotrope Ätzprozesse. Mit dieser Fähigkeit ist es in der Lage, unübertroffene Qualität und Genauigkeit präzise Muster auf Wafern zu ätzen. Das SCCM Shin wurde entwickelt, um die Effizienz zu maximieren und Abfall zu minimieren. Es enthält eine spezielle Abgasanlage, um den Gasverbrauch zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Darüber hinaus ist sein Prozesssteuerungsmodell mit intelligenten Überwachungssystemen und Feedback-Systemen integriert, um eine optimale Leistung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Insgesamt ist TEL Telius SCCM Shin ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der ein präzises Ätzen von Wafern mit herausragenden Eigenschaften und Fähigkeiten ermöglicht und somit eine ideale Wahl für die Halbleiterverarbeitung darstellt.