Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293645275 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM ist ein Multi-Plattform-Ätzer/Ascher, der eine hervorragende Durchsatzleistung für eine Vielzahl von Ätzprozessen bietet. Diese Verfahren umfassen unter anderem Halbleiterbauelementherstellung, Dünnschichtabscheidung (TFD), dielektrisches Ätzen und MEMS-Ätzen. TEL Telius SCCM verwendet ein einzigartiges patentiertes Design, um eine perfekt einheitliche Kammerverteilung durch Verwendung einer SCSI-kartenbasierten Hauptsteuerung und Kammerpositionierausrüstung zu erzeugen. Dadurch wird sichergestellt, dass Kammertemperaturen und Gasdurchsätze geregelt aufrechterhalten werden können, was ein hochpräzises Ätzen ermöglicht. TOKYO ELECTRON Telius SCCM verfügt über ein umfangreiches Leistungsspektrum und ist somit eine gute Wahl für routinemäßige und komplexe Ätzaufgaben. Es bietet eine hohe Flexibilität bei der Handhabung von Substraten mit Präzisionsschienen, die eine gleichzeitige Beladung mehrerer Substrate unterschiedlicher Abmessungen in das System ermöglichen. Die Mehrzonen-Wärmezonentechnologie und fortschrittliche Pyromicron-Heizelemente garantieren konsistente, wiederholbare Ätzergebnisse auf verschiedenen Substraten. Das Kammerdesign von Telius SCCM ist für maximale Durchsatz- und Rückgewinnungszeiten weiter optimiert. Es verfügt über Fernzugriff für Ferndiagnose- und Wartungsaufgaben, wodurch eine Optimierung auch dann möglich ist, wenn die Kammer physisch nicht zugänglich ist. Darüber hinaus kommt es mit einem SIAS, einer Sirius Interpreter Algorithmus Unit, die es der Maschine ermöglicht, mögliche Probleme beim Überätzen oder Unterätzen zu erkennen und schnell zu regeln, wodurch eine zuverlässige Prozesskontrolle gewährleistet ist. Kombiniert ermöglichen diese Funktionen den Anwendern von TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM eine erstklassige Ätzleistung und exzellente Präzision, so dass sie schnell Produkterträge und Zuverlässigkeit der Ausgabe erzielen können. Deshalb ist TEL Telius SCCM das bevorzugte Bauelement vieler im Bereich der Halbleitergeräteherstellung.