Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233 zu verkaufen
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ID: 9230233
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
System, 12"
(3) Chambers
Missing parts
Spare parts:
HPK1021-TE2
(3) AGA-50D
(3) DGP-120A2
(3) PS3 RF Pump boxes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher ist eine einzige Wafer-Level-Lösung, die für halbleiterbezogene Prozesse wie Speicherzellenbildung, SOT-Speicherzellenausrichtung und allgemeine Halbleiterprozessanwendungen entwickelt wurde. Dieses Gerät bietet effiziente und zuverlässige Ätzprozesse mit kleinen Stellflächen für kleine und große Produktionsanforderungen. Es verfügt über erweiterte Ätzwerkzeuge, Prozessüberwachungssysteme und erweiterte Prozessrezeptkombinationen für Hochgeschwindigkeitsdurchsatz und hochauflösende Ergebnisse. Die Vorrichtung ist für Wafer-Nivellierung ausgelegt, um die Waferkante leicht auszurichten und eine hervorragende Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Der innovative Messtechnik-Monitor misst den Ätzprozess an jedem Wafer, überprüft die Genauigkeit des Ätzvorgangs und unterstützt die Prozesssteuerung. Darüber hinaus stehen Echtzeit-Fehlervermeidungsfunktionen zur Verfügung, um Prozessoptimierungen für höchste Produktivität und Erträge zu ermöglichen. Innovative, in TEL Telius SCCM integrierte Prozessautomatisierungstools vereinfachen den Rezept-Download-Prozess und ermöglichen es den Betreibern, Ätzvorgänge schnell und einfach für hohe Produktivität und Ertrag zu konfigurieren. Erweiterte Funktionen zur Prozesssteuerung und -überwachung ermöglichen es Benutzern, technische Parameter auf der Grundlage bestimmter Ätzanforderungen anzupassen. Darüber hinaus bietet TOKYO ELECTRON Telius SCCM eine intuitive grafische Benutzeroberfläche für eine komfortable und einfache Bedienung. Das System verfügt zudem über leistungsstarke kassettenbasierte Lastmodule, die eine zuverlässige Umgebung mit hohem Durchsatz bieten. Die kompakte, kostengünstige Bauweise ermöglicht die Integration von Ätzvorgängen in eine Vielzahl von Wafer-Produktionslinien. Mit diesem Ätzsystem können Hersteller von Halbleiterprodukten ihren Durchsatz kostengünstig erhöhen und Ausfallzeiten reduzieren. Die fortschrittlichen Sicherheitssysteme von Telius SCCM überwachen und steuern die Umwelt und vermeiden so potenzielle Sicherheitsrisiken. Darüber hinaus bietet es Betreibern Funktionen zur Datenprotokollierung und Archivierung, um die Prozessverfolgung zu verbessern und die Einhaltung behördlicher Auflagen zu unterstützen. Die Überwachungssysteme sind auch für die Integration in ein Management-Informationssystem zur vollständigen Nachverfolgung und Qualitätssicherung konzipiert. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM etcher/asher ein effizientes und zuverlässiges Gerät für Halbleiterprozesse, das Anwendern eine verbesserte Produktivität und einen Wettbewerbsvorteil in den heutigen kostensensitiven Märkten bietet.
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