Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9249074 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM
ID: 9249074
Wafergröße: 12"
Etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheätzlösung, die der Industrie eine beispiellose Prozesssteuerung für das Ätzen von integrierten Schaltungsstrukturen bietet. Das Gerät wird von einem leistungsstarken 3-Achsen-Bewegungssystem angetrieben und ist mit modernsten Wafern und Flachbildschirmen ausgestattet. Das Gerät verfügt über ein integriertes Überwachungs- und Steuermodul, das die Geschwindigkeit, den Druck und den Gasfluss jedes Ätz-/Ascheätzprozesses genau überwachen und steuern kann. Mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Oberfläche ermöglicht TEL Telius SCCM die präzise Prozesseinrichtung und -steuerung inklusive der Möglichkeit, die Rezeptparameter für jeden Ätzlauf anzupassen. Die Maschine ist auch in der Lage, sich automatisch zu kalibrieren, um eine optimale Prozessleistung zu gewährleisten, und bietet Rezepte und Ätzparametersätze, um die Ätzprozessaufgaben des Benutzers zu vereinfachen. Darüber hinaus kann das Werkzeug bis zu 99 Rezepte speichern, so dass mehrere Rezepte der gleichen Struktur gleichzeitig ausgeführt werden können. TOKYO ELECTRON Telius SCCM ist mit einer eingebetteten Hochdrucksicherheitsanlage und einer speziellen Inertgasflasche ausgestattet, um eine optimale Prozesssicherheit zu gewährleisten. Das Modell verfügt auch über eine eigene und separate Leiterplatte für die Energieverwaltung, die eine hohe Genauigkeit bei der Steuerung jedes Ätz-/Ascheprozesses gewährleistet. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine langlebige und langlebige Ätz-/Aschekammer, die auch zur Maximierung der Prozessgasausnutzung ausgelegt ist und dadurch Kosten bei längeren Prozessabläufen reduziert. Das System verfügt über eine voll integrierte digitale Vision-Einheit, die sich perfekt für die kontinuierliche Steuerung großer Prozessbereiche eignet und somit dem Anwender ein hervorragendes Sichtfeld bietet. Es bietet auch einen optionalen PC-basierten Controller, der eine zusätzliche Echtzeit-Steuerung der Wafer-Positionierung und der Ätzdatensammlung über das lokale Netzwerk ermöglicht. Insgesamt ist Telius SCCM eine führende Ätz-/Ascheätzlösung, die darauf ausgelegt ist, den industriellen Ätzprozess auf die nächste Ebene der Präzision und Kontrolle zu bringen. Mit seiner leistungsstarken 3-Achsen-Bewegungsmaschine, der intuitiven benutzerfreundlichen Oberfläche und dem optionalen PC-basierten Controller ist der SCCM ein gut geeigneter Ätzer/Ascher für integrierte Schaltungshersteller überall.
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