Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9281489 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SCCM ist eine Ätz-/Aschereinrichtung für die Verarbeitung von Halbleiterbauelementen. Es enthält eine Plasmaquelle, eine mehrstufige Vakuumprozesskammer und ein Prozessleitsystem mit einem integrierten mehrstufigen Prozessmonitor. Das Gerät produziert ein qualitativ hochwertiges Ätz- oder Ascherverfahren für eine breite Palette von Materialien und Prozessen und bietet eine hervorragende Produktivität und Ausbeute. TEL Telius SCCM Ätzer/Ascher ist entworfen, um im Sub-Mikron-zu-Nanometer-Bereich zu arbeiten, mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Um das Ätzen und Aschen effizient durchzuführen, nutzt die Maschine eine Vielzahl von Technologien wie Plasmasteuerungen, hochpräzise Sensoren und Hochgeschwindigkeits-Scansysteme. Die Plasmaquellensteuerung ermöglicht es dem Anwender, ein optimales Ätz- oder Aschenzylinderprofil exakt einzustellen und aufrechtzuerhalten. Hochpräzise Sensoren werden verwendet, um die Prozessbedingungen in Echtzeit zu überwachen und Feedback zu liefern, um die Verarbeitungsgenauigkeit und Präzision zu verbessern. Hochgeschwindigkeits-Scan-Systeme ermöglichen eine hochauflösende Prozesssteuerung durch schnelle Messung der geätzten oder aschierten Breite/Tiefe. Das Tool bietet eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die dem Benutzer Zugriff auf alle notwendigen Steuerungsfunktionen gibt. Die intuitive Benutzeroberfläche erleichtert das Erstellen eines Ätz- oder Ascherezepts, indem Sie direkt auf alle notwendigen Parameter zugreifen. Der Benutzer kann einfach ein Rezept aus einer Reihe von vorprogrammierten Rezepten auswählen oder einfach ein benutzerdefiniertes Rezept für die gewünschte Anwendung erstellen. Die mehrstufige Vakuumprozesskammer der Anlage bietet eine versiegelte Umgebung, die einen konsistenten, wiederholbaren Prozess ohne häufige Wartung oder Reinigung ermöglicht. Das automatische Wafer-Transfermodell gewährleistet ein genaues Be- und Entladen des Wafers für eine effiziente Prozesswiederholbarkeit. TOKYO ELECTRON Telius SCCM ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher mit hervorragenden Schnittstellenfähigkeiten und Prozesssteuerungsfunktionen. Die Geräte sind so konzipiert, dass sie eine überlegene Leistung bei geringeren Betriebskosten bieten und gleichzeitig robuste Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit bieten.