Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293609250 zu verkaufen

TEL Telius SP 305 DRC ist eine Ätz-/Aschemaschine für eine breite Palette von Halbleiterprozessen wie Nassätzen, Trockenätzen, Aschen und Spurprozessen. Es ist ein ideales System für Halbleiterbauelement und Schaltungsherstellung, Mikroelektronikbaugruppe, Wafer-Level-Verpackung und Gerätemodifizierung. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 Ätzer/Ascher-Einheit verwendet eine hochdichte Plasma-Technologie, die in der Lage ist, Prozessergebnisse mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu produzieren. Diese Maschine ist hocheffizient, da sie schnell und einfach Prozesse durchführen kann und große Produktionsmengen aufnehmen kann. Es verwendet ein mehrstufiges Vakuumpumpenwerkzeug, um eine hervorragende Verfahrenssteuerung zu gewährleisten und gleichzeitig eine zuverlässige Quelle für atmosphärischen Druck zu bieten. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 Ätzer/Ascher ist mit einer Vielzahl von Ätz- und Aschequellen ausgestattet, wie induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), Außenfeldreaktionsmassenspektrometer (EFRS), mikrowelleninduziertes Plasma (MIP) und Elektroncyclotronresonanzquellen. Die Anlage ist für niedervolumige Prozesskammern optimiert und bietet sehr enge Prozesstoleranzen, die für die Produktion mit hohem Ertrag erforderlich sind. Es verfügt auch über eine große Analysekammer für niedervolumige, hochpräzise Aufträge. TEL Telius SP 305 verfügt über einen programmierbaren Controller, der bis zu 99 Prozessrezepte speichert. Der automatische Ladearm sorgt dafür, dass alle Prozessparameter wie Gasfluss, Druck, HF-Frequenz und Verarbeitungszeit präzise und genau gesteuert werden können. Dieser erweiterte Controller ermöglicht Benutzern den einfachen Zugriff auf die verschiedenen Prozessprogramme. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 kommt auch mit einer Vielzahl von Zubehör, wie eine variable Frequenz Antrieb und mag Feld Messmodell. Der variable Frequenzantrieb ermöglicht es Benutzern, das Prozessrezept nach spezifischen Anforderungen zu ändern, während die mag-Feldmessgeräte es Anwendern ermöglichen, den Prozess zu optimieren, um qualitativ hochwertige Produkte zu produzieren. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 ein ausgezeichnetes Ätz-/Aschersystem mit einzigartigen Funktionen und Funktionen, so dass es eine Reihe von hochauflösenden Prozessen aufnehmen kann. Diese flexible und einfach zu bedienende Ätz-/Aschereinheit bietet eine genaue, wiederholbare Prozesssteuerung und verbesserte Erträge bei minimalem Eingriff des Bedieners.