Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM
ID: 293659302
Dielectric etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM Etcher/Asher ist ein Hochleistungs-Ätz- und Aschewerkzeug für eine Vielzahl von Halbleiterscheibensubstraten, darunter Silizium, SiGe, Galliumarsenid und Saphir. Die Ausrüstung unterstützt sowohl die Nass- als auch die Trockenätz-/-aschenverarbeitung mit fortschrittlicher Technologie für fortgeschrittene Ätzer und Ascher, die ein genaues Ätzen/Aschen für die Abscheidung von High-End-Filmen ermöglichen. Der Telius SP 305 bietet hochpräzises Ätzen/Aschen, Linearität und Einheitlichkeit, die eine konsistente Prozessleistung ermöglichen. Der Telius SP 305 bietet ein fortschrittliches „intelligentes“ Ätz-/Ascheprozesssteuerungssystem, das das genaueste, konsistenteste und zeitwirksamste Ätzen/Aschen in der Branche ermöglicht. Der Telius SP 305 ermöglicht zusätzliche Funktionen wie Submikron-Oberflächenbehandlung, Hochgeschwindigkeitsebene des Fokussierens, Ätzen/Aschen durch Masken und digitale Bildgebungsfunktionen. Der Telius SP 305 verfügt zudem über eine umfassende Sicherheitseinheit mit Verriegelung, Erosionsüberwachung und Rückflussschutz. Die Maschine entspricht SEMI- und ESD-Halbleitersicherheitsstandards und stellt sicher, dass das Werkzeug sicher und zuverlässig ist. Dies hilft, Ausfallzeiten zu minimieren und die Produktivität zu maximieren, da es eine schnelle Wiederherstellung von Fehlätzungen/Aschen, semi-permanenten Effekten und Prozessverschmutzungen ermöglicht. Das Asset verfügt über eine intuitive grafische Oberfläche, die einfachen Zugriff auf Programmfunktionen und automatisierte Modellinformationen bietet. Die I/O-Performance-Kompatibilität basiert auf Standard-PC-Hardware und -Software. Die Technologie „Smart Etching/Ashing“ ermöglicht die Erstellung und Speicherung eines individuellen Ätz-/Ashing-Programms auf dem Gerät zur langfristigen Datenerfassung und Rezepturverwaltung. Die eingebetteten Rezepte ermöglichen ein optimales Ätzen/Aschen in kürzester Zeit. Darüber hinaus ist der Telius SP 305 mit Industriestandard-Kammern kompatibel und ermöglicht eine Echtzeit-Ätz-/-Ashing-Datenerfassung mit Prozessrückverfolgbarkeit und Datenanalyse. Der Telius SP 305 Ätzer/Ascher ist ideal für den Einsatz in der Forschung und Entwicklung von ultrafeiner Strukturherstellung für eine breite Palette von mikroelektronischen Geräten. Insgesamt ist TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asher ein anspruchsvolles Ätz-/Aschegerät, das die beste Leistung für eine breite Palette von Halbleitermaterialien bietet. Es kommt mit einer fortschrittlichen Ätz-/Aschesteuerung und Sicherheitsfunktionen, die helfen, die Effizienz zu maximieren und Ausfallzeiten zu minimieren. Mit seiner intuitiven grafischen Benutzeroberfläche und der Kompatibilität mit Industriestandard-Kammern ist der Telius SP 305 Ätzer/Ascher die fortschrittliche Ätz-/Ascherlösung für jede mikroelektronische Geräteherstellung.
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