Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #9397049 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM ist ein Hochleistungs-Etch/Ascher, der speziell auf die Präzision von lithographischen Prozessanforderungen ausgelegt ist. Es ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die eine präzise gefertigte Kammer für mehr Genauigkeit während des Ätz-/Aschermaschinen-Prozesses aufweist. Die Maschine nutzt drei unabhängige HF-Stromquellen, um maximale Flexibilität für unterschiedliche Ätz- und Sputteranforderungen in Kombination mit einem effizienten Gasduschabgusssystem zu bieten. Die Kammergröße von TEL Telius SP 305 DRM misst 1,3 m breit x 1,4 m lang x 0,37 m tief und hat eine Laufleistung von 50 Litern. Der Druck innerhalb der Kammer liegt im Bereich von 0 bis 400 Torr und kann in 1 Torr-Schritten eingestellt werden. Die Prozesstemperatur liegt im Bereich von -100 bis 700 Grad C mit einer Wiederholbarkeit von +/- 0,1 Grad C. Die Gleichmäßigkeit dieser Maschine ist ausgezeichnet, was ein hochgenaues Ätzen von Merkmalsgrößen bis zu 6 Mikrometer ermöglicht. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM verfügt außerdem über eine Kelvin-Sondentemperatur und eine DC-Vorspannungsauswahl für eine erhöhte Prozesskontrolle. Damit das gewünschte Verfahren erreicht werden kann, muß die Kammer des Ätzes/Aschers ordnungsgemäß vorbereitet werden. Dieser Prozess beginnt mit der Reinigung der Kammerwände mit einem fortschrittlichen Abriebreinigungssystem, das jegliche Ansammlung von zuvor verwendeten Materialien entfernt. Anschließend wird die Kammer abgepumpt und mit dem entsprechenden Prozessgas nachgefüllt. Diese Kammer wird dann verschlossen, um Ultrahochvakuumspiegel (UHV) zu erreichen, bevor sie auf die gewünschte Temperatur erhitzt wird. Die Kammertemperatur wird durch ein in die Kammerwand integriertes fortgeschrittenes Thermoelement ständig überwacht und eingestellt. Telius SP 305 DRM ist in der Lage, sowohl Nass- und Trockenätzprozesse als auch Sputteranwendungen durchzuführen. Die unterschiedlichen Gasdruck- und Durchflussmengen sowie verschiedene Kombinationen von HF-Leistungsquellen ermöglichen es diesem Ätzer, Präzisionsätzungen mit höheren Ausbeuten und verbesserten Zykluszeiten zu erzielen. Eine Vielzahl von Analysetechniken kann auch verwendet werden, um den Fortschritt von Ätz- und Sputterprozessen zu überwachen. Kurz gesagt, TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM ist ein fortschrittliches Ätzgerät mit großer Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Seine Eigenschaften ermöglichen mehrere Prozesszwecke und seine genaue Kammer- und Temperaturregelung sorgen für verbesserte Ausbeuten und kürzere Zykluszeiten.