Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473 zu verkaufen
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ID: 9282473
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Dielectric etcher, 12"
Process: Contact etcher
CIM
SMIF System: (4) Shinkos
Handler system:
Shinko
Orient
Process chamber 1:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
Gauge
Process chamber 2:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
LLM CM VAC Valve
ARM Drive
ARM Fork
Gauge
Power rack
Gas panel for PM1/PM2: H2, CH2F2, CH3F, CF4, O2, C4F6, C4F8, CHF, CO, Ar, N2
End point detection: SE2000
Missing parts:
(5) Dry pump lacks
(2) Fault chillers
Abatement lack
(6) MFC Lacks
(2) Fault chamber process kits
(2) Fault ESC assemblies
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE ist ein Modul, das modernste Technologie zur Steuerung chemischer Ätz- und Ascheprozesse integriert. Als Ätzer/Ascher bietet TEL Telius SP 305 SCCM TE eine präzise Kontrolle über die Aktivitäten im Bereich Substratätzen, Aschen und Reinigen. Erbaut mit einer flexiblen Ausstattungsarchitektur bietet TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE eine überlegene Kontrolle über Gleichstromätzen (DCE) und Wechselstromätzen (ACE). Es ist in der Lage, beide Prozesse gemeinsam durchzuführen, was eine optimale Kontrolle über Ätzgleichmäßigkeit und -ausbeute ermöglicht. Telius SP 305 SCCM TE verfügt über eine zweimonatige Steuerschnittstelle mit automatisierter Systemkommunikation, die die Einrichtung und Nutzung des Ätzers/Aschers vereinfacht. Diese Steuereinheit paart sich mit integrierter Überwachung und Datenerfassung, die Ätzgrößen wie Temperatur, Druck und Strom in Echtzeit liest. Es ist auch in der Lage, die richtigen Rezepte für die Materialbearbeitung zu wählen und ist mit digitaler Kantensteuerung programmiert, um die Prozessgleichförmigkeit zu optimieren. Das Ätzer/Ascher-Design von TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE ist zur sandvikadiabatischen Ätzung (SAE) in der Lage. Es hat die Fähigkeit, das Seitenverhältnis bei tiefen hohen Seitenverhältnisätzen bei minimierter Kühlzeit zu maximieren. Dieses Gerät bietet auch Ätzmöglichkeiten bei Temperaturen bis 150℃ sowie temperaturgesteuertes anisotropes Ätzen (TCAE), um Hinterschneidungen oder Aushöhlungen zu steuern. TEL Telius SP 305 SCCM TE kommt mit einer Vielzahl von vorprogrammierten Ätzrezepten, die es Anwendern ermöglichen, komplexe Strukturen mit minimaler Anpassung zu erreichen. Es ist auch mit einer fortschrittlichen Sicherheitsmaschine entwickelt, um Benutzer vor jedem Kontakt mit dem Ätzmittel zu schützen und bietet Aktivitätsüberwachung, um Ätz- und Ascheprozessanomalien zu minimieren. Diese einzigartigen Attribute kombinieren, um TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE zu einem der technologisch fortschrittlichsten Ätzer/Ascher auf dem Markt zu machen. Durch die überlegene Kontrolle über den Ätz-/Ascheprozess kann dem Anwender eine konsistente, wiederholbare Prozesskontrolle garantiert werden, die zu höheren Erträgen und höherer Produktqualität führt.
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