Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT #9204771 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT ist ein Siliziumkarbid Chemische Mechanische Planarisierung (SCCM) Ätzer/Ascher. SCCM ist ein Prozess der Präzisionsstörung eines Substrats mit einer Kombination aus chemischem Ätzen, mechanischem Polieren und wiederholtem Hochwasser und Entfernen von Gülle, um eine gewünschte Oberfläche und Planarisierung zu erreichen. TEL Telius SP SCCM DT bietet eine Lösung für Hersteller und Ingenieure, die Materialien in Nanometerauflösungen planarisieren müssen. TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT ist mit mehreren Kammergrößen ausgelegt, um eine Vielzahl von Substraten unterzubringen, einschließlich Siliziumwafer, Verbundhalbleiter, Glas und Low-K-Dielektrika. Telius SP SCCM DT ist mit seiner umfangreichen Substratverarbeitungsfähigkeit die optimale Wahl für eine Vielzahl von Ätz- und Planarisierungsprozessen. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT verwendet ein fortschrittliches Direktantriebsdesign mit einem Turbogebläse kombiniert mit einem mehrachsigen Direktantriebsfutter, um eine genaue Ausrichtung, Lastgleichmäßigkeit und wiederholbare Endergebnisse zu gewährleisten. TEL Telius SP SCCM DT bietet einen dreistufigen, leistungsstarken Ätzprozess. Während der ersten Stufe wird ein Schlamm mit abrasiven Partikeln verwendet, um Oberflächenmerkmale, wie Vertiefungen und Schritte, die durch vorherige Strukturierung verursacht werden, zu entfernen. In der zweiten Stufe werden mittels chemischer Ätzung vorgegebene Bereiche, wie Gräben oder Kanäle, selektiv weggeätzt und die Oberfläche für die nachfolgende Planarisierungsstufe vorbereitet. Während der dritten Stufe wird eine nicht abrasive Aufschlämmung verwendet, um Oberflächenelemente zu glätten und eine planare Oberfläche zu erzeugen. Neben dem effizienten Ätzprozess verfügt TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT auch über eine fortschrittliche Überwachungs- und Steuerungsausrüstung. Das System liefert Echtzeit-Feedback zu Betriebsparametern und ermöglicht die Überwachung des statistischen Prozesses von Anfang bis Ende. Darüber hinaus umfasst Telius SP SCCM DT zahlreiche Sicherheits- und Umweltschutzmerkmale wie aktive Entlüftung, Kaskadengasregler und eine zweistufige Sicherheitsverschlusseinheit. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT ist eine zuverlässige, leistungsstarke Ätz- und Planarisierungsmaschine, die Anwendern eine effektive und zuverlässige Ätz- und Planarisierungslösung bietet. TEL Telius SP SCCM DT ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und ist auf Genauigkeit, Effizienz und Zuverlässigkeit ausgelegt.