Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293637535 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP
ID: 293637535
Wafergröße: 12"
Dry etchers, 12" 2001-2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein innovativer Plasmaätzer für industrielle Dünnschichtanwendungen. Es ist eine Plasma-basierte Ausrüstung, die einen Hochleistungs-HF-Generator und Magnetron verwendet, um ein Hochfrequenzplasma effizient zu erzeugen und zu steigern. Der Ätzer ist außerdem mit einem integrierten maschinellen Lernsystem ausgestattet, mit dem er Parameter nach Bedarf ändern kann, um optimale Ätzergebnisse bei minimalem menschlichen Eingriff zu erhalten. TEL Telius SP verfügt über einen fortschrittlichen zyklischen Ätzprozess, der es ermöglicht, Materialien viel schneller als andere Ätzsysteme zu ätzen. Die Ätzkammer ist in der Lage, mit bis zu vier Atmosphären Druck zu arbeiten, was hilft, die Clustering Effizienz des Prozesses zu erhöhen. Es verwendet auch einen automatischen Nivelliermechanismus, um das Lichtbogenpotential gleichmäßig über die Probenoberfläche zu verteilen und die Verdampfungsrate von Ätzgasen zu reduzieren. Seine robuste Bauweise ermöglicht es, bei Temperaturen von -5 bis 75 ° C zu arbeiten. Neben seinen außergewöhnlichen Ätzfähigkeiten verfügt TOKYO ELECTRON Telius SP auch über eine leistungsstarke optische Abbildungseinheit zur Analyse von dünnen Filmen nach dem Ätzen. Diese Bildverarbeitungsmaschine ist mit mehreren Komponenten ausgestattet, darunter eine Hochleistungs-CCD-Kamera, ein optisches Mikroskop und ein Bildverarbeitungscomputer. Mit diesen Komponenten kann das Werkzeug eine detaillierte Analyse von Dünnschichtproben durchführen und Benutzern Daten zur Ätzrate, zum Oberflächenprofil und zur Dicke von Proben liefern. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die intuitive Software, die mit Telius SP geliefert wird, erleichtern es Anwendern, das Ätzgut ohne erweiterte technische Kenntnisse einzurichten und zu bedienen. Der Setup-Prozess ist schnell und das Modell kann mit wenigen einfachen Schritten kalibriert werden. Die integrierte maschinelle Lernausrüstung macht das System auch vollautomatisiert, wodurch komplexe Parametereinstellungen entfallen. Insgesamt zeigt TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP die neuesten Fortschritte in der Plasmaätztechnologie. Sein fortschrittliches zyklisches Ätzverfahren ermöglicht es ihm, Materialien viel schneller als andere Systeme zu ätzen, während seine Hochleistungs-Bildgebungseinheit es Anwendern ermöglicht, eine detaillierte Analyse von Dünnschichtproben durchzuführen. Mit seinem robusten Design und der automatisierten Einrichtung und Bedienung ist TEL Telius SP eine ausgezeichnete Wahl für industrielle Anwendungen, die nach einem fortschrittlichen Plasmaätzer suchen.
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