Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293657406 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist eine hochmoderne Ätz- und Aschemaschine zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es bietet zuverlässiges und durchsatzstarkes Ätzen fortschrittlicher Prozessfunktionen mit ungleicher Präzision und Kontrolle. Die Maschine ist in der Lage, konsistente Ergebnisse bei verschiedenen Temperaturen und Durchsatzstufen zu erzielen. TEL Telius SP verfügt über eine fortschrittliche gasförmige Ätzquelle, die eine gleichmäßige Ätzung bei verschiedenen Temperaturen gewährleistet. Diese fortschrittliche Ätzquelle ist temperaturgeregelt und enthält eine Druck-, Durchfluss- und Reaktantensteuerung für eine verbesserte Prozesssteuerung und verbesserte Ätzleistung. Darüber hinaus kann die Ätzquelle eingestellt werden, um ein schnelles und genaues Ätzen auf einer Vielzahl von unpolierten und polierten Wafern zu ermöglichen. Die fortschrittliche Gasquelle von TOKYO ELECTRON Telius SP ist mit einer integrierten Quarzätzkammer, einem gepulsten Gleichstromätznetzteil und einem digitalen Auslesemessgerät für präzises Ätzen konfiguriert. Digitale rechnergesteuerte Impuls- und Gleichstromätzung sorgt für optimale Gleichmäßigkeit und Genauigkeit der Prozessergebnisse. Telius SP verfügt auch über ein Flachbildschirm (FPD), das Benutzern direkte Prozess-Feedback-Signale liefert. Die fortschrittlichen Nassätzfähigkeiten von TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP bieten eine breite Palette von reaktiven Nassätzprofilen. Start-to-End-Profilerstellung und Quellparameteroptimierung sorgen für eine verbesserte Ätz- und Entfernungsleistung, was zu einer überlegenen Prozessausbeute und einem erhöhten Durchsatz führt. Ein automatischer Nassätzschalter ermöglicht es Benutzern, bequem zwischen Nassätz- und Trockenätzprofilen zu wechseln. TEL Telius SP verfügt zudem über eine präzise Trockenätzanlage mit automatisierter Druck-, Temperatur- und Prozessüberwachung zur erhöhten Ätzoptimierung. Trockenätzfähigkeit ist auch für rückseitige oder doppelseitige Prozessströme verfügbar. Die bordseitige Einbauätzkammer ist in der Lage, große Wafer mit gleichmäßiger Ätzverteilung durchgehend zu halten. TOKYO ELECTRON Telius SP bietet eine Vielzahl von zusätzlichen Funktionen und Zubehör, um seine Funktionalität zu erhöhen. Das automatische Gewichtskontrollsystem (AWCS) und der Wafer Handling Roboter (WHR) wurden entwickelt, um eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Für die Wafer- oder Substratkühlung steht ein gekühltes Futter zur Verfügung. Ein zusätzliches Ätzwerkzeug, wie eine reaktive Ionenätzeinheit (RIE), kann hinzugefügt werden, damit die Maschine reaktives RIE-Ätzen durchführen kann. Telius SP ist die perfekte Lösung für das Ätzen fortschrittlicher Prozessmerkmale sowie für zuverlässige, einheitliche Prozesse mit überlegenem Durchsatz im Vergleich zu anderen Ätzsystemen. Seine Flexibilität, fortschrittliche Quelltechnologie und Prozessoptimierungsfunktionen machen es zur idealen Ätzmaschine für die High-End-Halbleiterproduktion.