Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197560 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist eine vollautomatische Ätz-/Aschemaschine zum Ätzen und Aschen von Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiter- und Flachbildschirmen verwendet werden. Das System ist in der Lage, das vollständige lithographische Ätzen und Aschen von Wafern in einem einzigen Prozess durchzuführen. Das spart Zeit und Kosten und hilft, bessere Erträge zu erzielen. Die Einheit ist typischerweise mit einer ultradünnen Filmabscheidekammer, einer Ätzkammer und einer Aschekammer ausgestattet. Die ultradünne Filmabscheidekammer ist für die Abscheidung ultradünner Materialschichten ausgelegt, die für die Herstellung von Halbleitern erforderlich sind. Die Ätzkammer dient zum präzisen Ätzen von Schichten, während die Aschkammer zum chemischen Aschen der unerwünschten Folienschichten verwendet wird. Die Maschine umfasst einen automatisierten Lastverschluss und ein Kassetten-Kammer-Übergabewerkzeug. Die automatisierte Lastverriegelung erleichtert das Be- und Entladen von Substraten, während die Kassetten-zu-Kammer-Übertragungsanlage zum Transport von Substraten von der Kassette zu den einzelnen Bearbeitungskammern verwendet wird. TEL Telius SP ist in der Lage, dielektrische Muster hoher Dichte mit vertikalen und lateralen Auflösungen unter Mikron zu erzeugen. Es bietet eine hohe Gleichmäßigkeit sowie Wiederholbarkeit, was es für Anwendungen geeignet macht, die eine präzise Verarbeitung erfordern. Das Modell bietet zudem eine überlegene Prozesssteuerung, die die Wiederholbarkeit von Prozessergebnissen und eine qualitativ hochwertige Fertigung gewährleistet. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Telius SP über eine integrierte Rezept- und Datenhandhabungsausrüstung, mit der der Anwender Prozessrezepte und -ergebnisse sicher speichern und abrufen kann. Dies trägt zur Verbesserung der Prozesskonsistenz und der Gesamteffizienz bei. Insgesamt ist Telius SP ein zuverlässiges und effizientes System, das hochpräzise Ätz- und Ascheergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen zur Geräteherstellung liefert. Die automatisierten Sicherheitsfunktionen, die fortschrittliche Rezept- und Datenhandhabungseinheit und die benutzerfreundliche Bedienung machen es ideal für präzise und kostengünstige Geräteherstellungsprozesse.