Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197570 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein paralleler Cluster-Typ Ätzer/Ascher ideal für die Serienproduktion. Es ist eine kostengünstige Lösung für die Erstellung komplexer 3D-Strukturen mit Präzision und Genauigkeit. Es verfügt über eine einfache und benutzerfreundliche Bedieneinrichtung, die es gut geeignet macht, um Bediener durch fortschrittliche Prozessrezepte zu führen. TEL Telius SP enthält vier verschiedene Module für die Photoresist-Beschichtung, Vorbehandlung, Ätzung und Veraschung der oberen Oberfläche des Wafers. Jedes Modul ist für eine zuverlässige und wiederholbare Leistung mit geringen Ausfallzeiten ausgelegt. Die Vorbehandlung umfasst Sauerstoff- und Fluorinjektionen, die die Oberflächen glatt und gleichmäßig machen. Ein elektrostatisches Spannfutter wird verwendet, um den Wafer an Ort und Stelle zu halten, und ein erweitertes Impedanzsystem umfasst die ASYST Real-Time Plasma Unit, zur Steuerung der Plasmaleistung. Das Ätzmodul besteht aus einem Hochleistungs-Plasmaverfahren, das in der Lage ist, eine tiefe, komplexe 3D-Struktur bis hin zu einer Mikrometergröße mit hoher Genauigkeit und Präzision zu schaffen. Die verwendete Ätzzeit und die verwendeten Materialien werden automatisch überwacht und kontrolliert, um ein Qualitätsergebnis zu gewährleisten. Darüber hinaus steht eine mehrachsige Kassette zur Präzisionssubstratmontage zur Verfügung und eine private EMGD CCD-Kamera zur Überwachung des DI-Wasserstandes während des Spülvorgangs ist im Lieferumfang enthalten. Das Aschemodul verwendet ein Hochleistungs-Sauerstoffplasma, um sowohl organischen als auch anorganischen Photoresist zu entfernen. Es bietet auch ein glattes Finish für die Oberfläche, mit 0,1 µm Tiefe der Präzision. Dieses Modul weist auch eine umlaufende Abschirmung auf, die verhindert, dass aus dem Plasmaprozess emittierte Partikel die Wafer in den benachbarten Kompartimenten streuen. TOKYO ELECTRON Telius SP hat eine große Kapazität von bis zu 2.400 Substraten und ist damit die ideale Wahl für die Serienproduktion. Es ist auch kompatibel mit den meisten Chemikalien und Gasen und kommt mit einem modularen Design, so dass es einfach zu aktualisieren. Darüber hinaus ist die Maschine hochautomatisiert mit einer breiten Palette von eingebauten Sicherheitsmerkmalen, die ihren Langzeitbetrieb gewährleisten. Damit ist Telius SP die perfekte Lösung zur präzisen und präzisen Verarbeitung hochauflösender Strukturen.