Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197577 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterherstellungsindustrie verwendet wird. Es ist ein Full-Size-Ascher, der entwickelt wurde, um Wafer hoher Dichte zu handhaben und überlegene Leistung für kritische Halbleiteranforderungen zu bieten. TEL Telius SP ist ein Full-Size-Werkzeug, bestehend aus einem 5-Achs-Linearantrieb-Ladegerät mit mehrfachem Wafer-Transferwagen. Es verfügt über eine 19-Zoll-Anzeigekonsole und eine Tastatur mit mehreren Sprachoptionen. Das Layout ermöglicht die einfache Umschaltung von bleifreien Geräten und verfügt über ein automatisches Wafer-Handling-System mit integriertem Flüssigkeitsfilter. Die Einheit ist mit hochwertigem Edelstahl für eine bessere Korrosionsbeständigkeit konstruiert und ist mit einem ESD-sicheren Kabel vorverkabelt. TOKYO ELECTRON Telius SP verfügt über mehrere Prozesskammern mit einem 4-Achsen-Spinner und bietet Anwendern eine hervorragende Kontrolle über die Ätz- und Ascheprozesse. Der Spinner ist in der Lage, schnell zu spinnen und hochauflösendes Spinnen sowie einen variablen Drehzahlbereich von 10 k/min bis 25 k/min. Es verfügt auch über eine verbesserte Differenzdruckregelmaschine, optimierte Vakuumtechnologie und gleichmäßige Stromversorgung. Der Reinigungsprozess wird ebenfalls verbessert, indem ein Bromwasserstoffprozess zur effektiven Reinigung von Wafern und zur automatischen Wiederauffüllung von Reinigungschemikalien eingesetzt wird. Telius SP verfügt auch über eine generative Kühlkammer, die die Entfernung von Reaktionsprodukten verbessert und Maskenschäden verringert. Neben seinen hochpräzisen Ätz- und Aschefunktionen bietet TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP erweiterte Sicherheitsfunktionen wie automatische Benutzerzugriffskontrolle, Stoßdetektor und Brandschutzwerkzeug. Es kommt auch mit einer Vielzahl von Prozess-Management-Tools und Integration für verschiedene TEL-Software. TEL Telius SP ist ein perfektes Werkzeug für die Serienfertigung und hochpräzise Qualitätskontrolle in einer Halbleiterfertigungsanlage. Es ist entworfen, um verschiedene Wafergrößen und Dicken mit schnellen Zykluszeiten und einem hohen Präzisionsprozess zu handhaben. Es erzielt aufgrund seiner Temperatur-, Zeit- und Stromverfolgbarkeit bessere Prozessergebnisse und ist mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungsoptionen ausgestattet.