Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197580 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für die Massenproduktion in der Halbleiterbauelementherstellung. Es ist ein dreiachsiger Ätzer, der Bewegungsstufen, hochmotorisierte Ätzprozesskammern und Vakuumabscheidungssysteme kombiniert. Das System ist in der Lage, die Ätzprozessparameter für eine Vielzahl von Substraten, einschließlich Wafern, Filmen und Wellenleitern, extrem präzise zu steuern. Seine fortschrittliche Technologie führt zu einer hohen Wiederholbarkeit, geringer Fehlerquote und schnellen Verarbeitungszeiten. TEL Telius SP bietet sowohl vertikale als auch horizontale Ätzfunktionen, wobei beide Prozesse für maximale Flexibilität unabhängig gesteuert werden. Der vertikale Ätzprozess verwendet eine plasmafreie Ätzprozesskammer zum Ätzen durch ein physikalisches Ablationsverfahren wie Sputterätzen oder thermisches Oxidätzen. Dieses Verfahren soll eine präzise Steuerung und Gleichmäßigkeit der Ätztiefe und der Seitenwände ermöglichen. Sein horizontaler Ätzprozess nutzt eine separat gesteuerte Plasmaätzkammer, die eine zuverlässige und scharfe Profilkontrolle mit ausgezeichneter Merkmalsdefinition ermöglicht. Die High-Tech-Ätzprozesskammer in der Einheit verfügt über eine fortschrittliche Maschine von Gasströmungskanälen und -pumpen, die genau gesteuert werden, so dass die Einstellung des Gasdrucks und der Gasströmungsraten die gewünschte Ätzrate zu erreichen. Das integrierte Vakuumabscheidungswerkzeug ermöglicht eine schnelle Abscheidung von Siliziumnitrid, Siliziumoxid und Polysilizium auf verschiedenen Substratmaterialien. Dies kann für Ätzanwendungen hilfreich sein, die einen überlegenen Schutz vor Umweltverschmutzung erfordern. Darüber hinaus bietet TOKYO ELECTRON Telius SP eine breite Palette an zusätzlichen Funktionen zur Verbesserung von Prozesskomfort und -ausgang. Dazu gehören eine hochempfindliche Lastportreinigungsstation zur kontinuierlichen Reinigung der Prozesskammer, Echtzeitüberwachung von Ätzraten, spezialisierte programmierbare Zentrumsüberwachung, automatisierte Ausrichtung von Substraten und mehrere Rezepturmanagementsysteme, um eine schnelle Umstellung zwischen verschiedenen Ätzprozessen zu ermöglichen. Abschließend ist Telius SP ein hochentwickeltes Drei-Achsen-Ätzinstrument, das im Vergleich zu herkömmlichen Ätzprozessen überlegene Ergebnisse liefert. Die Kombination aus Bewegungsstufen, Ätzprozessen und Vakuumabscheidungssystemen ermöglicht eine beispiellose Kontrolle der Ätzprozessparameter, was zu wiederholbaren und zuverlässigen Ätzergebnissen für eine Vielzahl von Substraten führt. Darüber hinaus bieten die Lastportreinigungsstation, die Echtzeitüberwachung, die automatisierte Substratausrichtung und die Rezepturverwaltungssysteme unschätzbare Funktionen, die eine maximale Kontrolle ermöglichen und eine hohe Durchsatz- und Ausgangsqualität gewährleisten.