Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197588 zu verkaufen
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ID: 9197588
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
Oxide etcher, 8"
(3) Telius SP vesta chambers
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für die Herstellung elektronischer Komponenten. Dieses Modell ist ein in sich geschlossenes System, bestehend aus einem Hauptarbeitsplatz, einer Vakuumkammer und einer externen Stickstoffeinheit. Es ist mit modernster Technologie wie hochpräzisem Strahlscannen, Ultrahochvakuumprozessen und automatischen Waferlift- und Stickstoffpumpenfunktionen ausgestattet. Die Maschine eignet sich zur Herstellung von Kleinbauelementen wie Kondensatoren, Transistoren und Widerständen. Das Werkzeug verfügt über eine innovative dreidimensionale Bewegungskomponente, die eine genaue und präzise Steuerung der Bewegung entlang der x-Achse, y-Achse und z-Achse ermöglicht und eine hochpräzise Ätzung und Abscheidung gewährleistet. Darüber hinaus garantiert die ultrahohe Vakuumfähigkeit des Modells die Beseitigung von Verunreinigungen, die für fortgeschrittene Prozesse unerlässlich sind. TEL Telius SP verfügt über eine Wafer-Lift-Funktion, die die Handhabung von Wafern auch auf kleinem Raum erleichtert. Es verfügt auch über eine unabhängige Stickstoff-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Stickstoffabscheidung nach den Designmustern genau zu verwalten und auch extrem dünne Abscheidungsfolien zu erzielen. TOKYO ELECTRON Telius SP wurde entwickelt, um einen schnellen Verarbeitungsdurchsatz sowie ein einwandfreies Ätzen und Abscheiden zu erreichen. Es kann mehrere Wafer gleichzeitig verarbeiten und aufeinanderfolgende Prozesse verarbeiten, ohne zu stoppen. Es ist auch mit einem Setup-Programm ausgestattet, das es einem Bediener ermöglicht, die Bearbeitungsbedingungen bis zu 8 Wafer-Zyklen einfach anzuzeigen und anzupassen. Die intuitive Benutzeroberfläche von Telius SP umfasst einen praktischen grafischen Touchscreen sowie eine PC-basierte Softwareumgebung. Die Kombination aus intuitiver Benutzeroberfläche und einer einfach zu bedienenden PC-Software ermöglicht es Ingenieuren, die Bearbeitungsbedingungen schnell an die gewünschten Spezifikationen anzuzeigen, zu bearbeiten und anzupassen. Das System bietet auch eine breite Palette von Rezepten, eingebaute Bearbeitungswerkzeuge, sowie die Möglichkeit, Daten auf andere Maschinen zu übertragen. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP wird von einer eingebetteten Bedieneinheit betrieben, die fortschrittliche Technologien für künstliche Intelligenz verwendet, um Fehler zu minimieren und Ergebnisse zu optimieren. Die Maschine entspricht auch den Umweltsicherheitsstandards und gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb und die Erhaltung der Sicherheit des Bedieners. Insgesamt ist TEL Telius SP von TEL ein fortschrittliches Ätzwerkzeug mit modernster Technologie sowie überlegener benutzerfreundlicher Oberfläche und eignet sich somit für die Herstellung hochpräziser Komponenten. Die einzigartige Stickstoffressource, die Wafer-Lift-Funktion und die einfache Betriebsumgebung sorgen für umfassende Prozesse bei der Herstellung elektronischer Komponenten.
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