Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197601 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher, der für großflächige, präzise Ätz- und Ascheoperationen entwickelt wurde. Diese Anlage wurde mit einer offenen Architektur entworfen, die eine Prozessoptimierung sowie die Integration in Produktionslinien ermöglicht. TEL Telius SP wird von einem leistungsstarken Generator angetrieben, um eine stabile Prozessleistung mit einstellbarer Spannung, Strom, Gesamtätzzeit und Puls/Aus-Komfort zu gewährleisten. Dieses System wurde entwickelt, um großflächige Ätzprozesse zur Verfügung zu stellen, die bis zu 6 "-Waferdurchmesser aufnehmen und eine Hybrid-Art Trockenätzen/hochdichte Plasmaverfahren verwenden, um ultrahochpräzise Filme zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON Telius SP nutzt einen Hochleistungsgenerator für robuste, stabile Ätz- und Ascheprozesse mit Top-Endfrequenz von bis zu 300GHz und hochfrequenter elektrischer Leistung bis zu 20kW. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, eine Vielzahl von Prozessgasen zu handhaben, von Sauerstoff und Stickstoff bis hin zu seltenen Gasen und ist mit einer speziellen Plasmareinigungsprozessfunktionalität ausgestattet. Darüber hinaus verfügt Telius SP über einen hoch kontrollierbaren Mikrowellenmodus und Zünder-Befehlsfähigkeit, 4-Wege-Schalten, Mehrfachschuss-Brennen, hochpräzise Bedienung mit speicherarrayierten Prozessdaten und perfekte Gleichmäßigkeit der geätzten Schichten über den Wafer. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP sorgt mit seiner automatischen Ausrichtung und kassettenbasierten Be-/Entladung für einen vollautomatischen Prozessablauf mit geringer Durchlaufzeit und hervorragender Leistung. Das Gerät wurde für eine optimale Wartungsfähigkeit konzipiert, die eine schnelle und zuverlässige Reaktion auf Serviceanforderungen ermöglicht. Die gesamte Maschine ist mit einem umfassenden Softwarepaket gepaart, das einen hohen Grad an Parameteranpassung, grafischer Benutzeroberfläche (GUI) und Export/Import von Prozessdaten enthält und eine reibungslose Integration in Produktionslinien ermöglicht. Insgesamt bietet TEL Telius SP etcher/asher eine hochmoderne Lösung für präzise Ätz- und Aschevorgänge. TOKYO ELECTRON Telius SP ist mit seiner Spitzenleistung, seinem breiten Spektrum an Prozessfähigkeiten und seinem automatisierten Prozessablauf eine ideale Wahl für Produktionslinien, die hohe Effizienz und exzellente Präzision erfordern.