Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197603 zu verkaufen
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ID: 9197603
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2005
Oxide etcher, 8"
(3) Telius SP vesta chambers
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher zur Halbleiterverpackungsanalyse und -herstellung. Es bietet drei Arten von Ätzfunktionen: chemisches Ätzen, Nassätzen und Trockenätzen. Durch chemisches Ätzen kann durch Entfernen von Verunreinigungen aus dem Substrat eine hochwertige Oberflächengüte erzeugt werden. Durch Naßätzen wird die Oberfläche des Materials zerstört, so daß es oxidiert oder weggeätzt werden kann. Schließlich wird das Trockenätzen verwendet, um tiefe Gräben und Muster im Substrat zu erzeugen, die für elektrische Wege oder die Definition von Merkmalen verwendet werden können. TEL Telius SP verfügt über einen integrierten Hochdruckplasma (HPP) -Generator, mit dem ein effizienter und konsistenter Ätzprozess erzeugt werden kann. Die einzigartige Tri-Gas-Steuerung ermöglicht die präzise Abgabe von Plasmagas und Ätzgas in einem einzigen Prozess. Dies ermöglicht eine größere Steuerung der Ätzparameter. TOKYO ELECTRON Telius SP verfügt außerdem über ein Resiststreifensystem auf pyrolytischer Basis, das die gesamte Bearbeitungszeit reduziert. Telius SP bietet zudem verschiedene Steuerungsfunktionen, um Anwendern die bestmöglichen Ätzergebnisse zu bieten. Es beinhaltet hochpräzise Temperaturregeltechnik und geschlossene Druckregelung, um die Stabilität des Prozesses aufrechtzuerhalten. Es verfügt auch über eine automatische Kammerreinigung Funktion, die hilft, Materialaufbau und Kontamination zu reduzieren. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP kann eine Vielzahl von Ätzmustern erzeugen, von einfachen Durchgangslöchern bis hin zu komplexen Gerätestrukturen. Mit seiner benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche können Anwender Ätzstrategien genau auswählen, Oxidschichten mit hoher Gleichmäßigkeit erzeugen und den Ätzprozess optimieren. Darüber hinaus verfügt TEL Telius SP über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie ein Sicherheitskammergehäuse und ferngesteuerte Gasabsperrventile. TOKYO ELECTRON Telius SP Ätzer/Ascher ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiterverpackungen und Analyseanwendungen. Seine verschiedenen Ätzfähigkeiten und erweiterten Steuerungsfunktionen machen es zu einem wertvollen Werkzeug für den modernen Herstellungsprozess.
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