Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197607 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher mit hohem Durchsatz und hervorragender Partikelkontrolle für die Substratverarbeitung. Der Ätzer/Ascher ist für alle Arten von Substraten geeignet und verfügt über eine automatisierte Kammerdrucksteuerung und einen mehrachsigen Bearbeitungskopf. Der Ätzer/Ascher hat eine kompakte Bauweise mit einem geringen Platzbedarf und einem hohen Durchsatz von 4 Gaseingängen. Der Ätzer/Ascher verfügt über einen hochpräzisen 6-Achsen-Bearbeitungskopf, der sich rauf und runter bewegen und frei drehen kann und auch mit einer Genauigkeit von bis zu +/- 0,1 Grad kippen kann. Die Kammer hat eine rechteckige Form und kann Substrate bis 200x200mm aufnehmen. Der Druck innerhalb der Kammer wird mit einer ausgeklügelten Steuerung gesteuert, die während des Ätzvorgangs einen konstanten Druck von 1,3 Torr aufrechterhält. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine mehrstufige Wafer-Handling-Technologie, die eine effiziente Verarbeitung verschiedener Substrattypen ermöglicht. Der Ätzer/Ascher ist ideal für fortgeschrittene MEMS und Halbleiteranwendungen und verfügt über ein Fernbedienungssystem mit einer grafischen Benutzeroberfläche zum Einrichten von Rezepten. Es unterstützt auch Fernwartung und Software-Upgrade. Die Einheit verfügt über eingebaute Gasreinigungseinheiten, um die Anzahl der aus dem Ätzprozess emittierten Partikel zu reduzieren. Es weist auch einen Infrarotsensor auf, der das Vorhandensein von Partikeln in der Kammer erfassen und den Druck entsprechend einstellen kann. Der Ätzer/Ascher hat auch einen geringen Stromverbrauch, wodurch er für alle Arten von Operationen geeignet ist. Zusätzlich verwendet der Ätzer/Ascher ein Tieftemperatur-Plasmaverfahren zum Ätzen, das die Anzahl der thermischen Defekte auf dem Substrat reduziert. Darüber hinaus verfügt TEL Telius SP etcher/asher über eine lebenslange Garantie und ist mit allen Arten von Ätzgasen und Gaszufuhrsystemen kompatibel.