Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9197608 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher mit modernster Technologie zur Erzeugung hochwertiger Ergebnisse. Dieses Werkzeug wurde entwickelt, um die Herstellung von elektronischen Schaltungen mit außergewöhnlich kleinen Linienbreiten, Topographien mit hohem Seitenverhältnis und präziser Profilsteuerung zu ermöglichen. Die Bearbeitungskammer des Instruments misst 19,7 x 19,7 x 3,1 Zoll (500 x 500 x 80 mm) und kann Wafer mit 295 mm Durchmesser handhaben. Es ist mit einer vertikal ausgerichteten, zweistufigen Membranpumpe ausgestattet, die zur Aufrechterhaltung des Prozessdrucks verwendet wird. Darüber hinaus verfügt es über eine Gesamtgasförderanlage, die eine unabhängige Steuerung von 8 Gasen wie O2, BCl3, C4F8 ermöglicht. Es bietet mehrere Konfigurationen für verschiedene Ätzanforderungen, wie Resistabisolierung, Tiefgrabenätzen, Hohlraumätzen, Profilierung und Mustertransfer. Darüber hinaus verfügt das System über einen hochpräzisen digitalen Scangenerator, der eine schnelle Abtastung des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus sorgt seine Neigungskompensationstechnologie, die in Kombination mit der Präzisionsmechanikstufe eingesetzt wird, für Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche. Darüber hinaus ermöglicht seine Oberflächenabbildungseinheit eine Gleichmäßigkeitsoptimierung von der Mitte bis zur Kante des Wafers. Und seine fortschrittliche Prozessüberwachung hilft, die beste Qualitätsleistung zu gewährleisten. Um maximale Leistung zu ermöglichen, verfügt TEL Telius SP über eine maßgeschneiderte Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung ermöglicht. Seine digitale Prozesssteuerung verfügt über Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung, so dass es einfach ist, zuverlässige Prozesse einzurichten und zu warten. Schließlich bietet seine automatische Rezeptausführungsmaschine maximale Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit. TOKYO ELECTRON Telius SP ist das ideale Werkzeug zum Ätzen/Aschen von Oberflächen mit extrem feiner Strukturierung. Seine erweiterten Funktionen und Optionen bieten eine höhere Präzision, robuste Leistung und Prozessflexibilität und sind somit für die anspruchsvollsten Anwendungen geeignet.