Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9402146 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das für das dielektrische Ätzen und die Waferreinigung in der Halbleitergeräteherstellungsindustrie verwendet wird. Es ist ein vollautomatisches und leistungsstarkes System, das beispiellose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz bietet. TEL Telius SP ist mit einem 9kW HF-Netzteil und einem HF-Matching-Netzwerk für eine optimale Ätz-/saubere Prozesssteuerung ausgestattet. Die Maschine ist auch mit einer atmosphärischen Druckplasmaquelle ausgestattet, die eine Hochgeschwindigkeits- und gleichmäßige Verarbeitung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Telius SP ist für das oberseitige oder unterseitige Ätzen von dielektrischen Schichten auf Wafern oder das Ätzen von Öffnungen in Substraten und Masken konzipiert. Die Ätzfähigkeit wird durch einen hochgenauen und wiederholbaren Prozess unterstützt; Dies sorgt für konsistente Ergebnisse und spart Zeit und Kosten. Darüber hinaus verfügt das System über Endpunktdetektoren und Schattenmasken-Ausrichter und kann sowohl für positive als auch negative Ätzprozesse verwendet werden. Telius SP enthält auch eine hochpräzise Waferreinigungskomponente, die die Entfernung von Verunreinigungen aus Wafern ermöglicht. Die Maschine verwendet ein einzigartiges Plasma mit hoher Dichte, Prozesszeitoptimierung und beschleunigte Waferbewegungstechnologie, um Schmutz auf den Waferoberflächen zu beseitigen. Das System verfügt auch über eine integrierte Partikelüberwachung, die eine beispiellose Reinigungsleistung mit einer maximalen unbeladenen Partikelrate von < 5 Partikeln/cm2/min liefert. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ein zuverlässiges und effizientes Ätz-/Reinigungswerkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine fortschrittlichen Funktionen wie automatisierte Prozesssteuerung, Schattenmasken-Ausrichter und hochdichte Plasmareinigung sorgen für überlegene Ergebnisse mit überlegener Wiederholbarkeit und Durchsatz.