Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #9412454 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP ist ein Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Dieses Werkzeug ist in der Lage, hochpräzise Muster auf Substraten wie Wafern mit einer Ätzrate von bis zu 1,7 µm/min in Ar/SF6 Plasma zu ätzen. Dieser Ätzer eignet sich hervorragend für die Herstellung fortgeschrittener Geräte und Schaltungen. TEL Telius SP Ätzer kommt mit einer großen Kammer, die eine ideale Ätzumgebung bietet, indem sie Druck und chemische Konzentrationen reduziert, die Ätzraten beeinflussen können. Eine verbesserte Ausführung des ursprünglichen Druckgerätes verhindert Druckstörungen in der Kammer und hilft auch, Kreuzkontaminationen zwischen Prozessläufen zu reduzieren. Das Gerät ist außerdem mit einem fortschrittlichen Substratorientierungssystem auf Waferebene ausgestattet, das eine wiederholbare Höhe und Orientierungsgenauigkeit des zu ätzenden Wafers ermöglicht. TOKYO ELECTRON Telius SP ist mit einer generalisierten Automatisierungsschnittstelle (GAI) ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglicht, Ätzrezepte und Parameteranpassungen in Echtzeit einzurichten, zu überwachen und zu steuern. Diese fortschrittliche Automatisierung ermöglicht den schnellen und zuverlässigen Betrieb ohne Benutzereingriff. Prozessrezepte präsentieren eine praktische Methode zum Ätzen von Strukturen unterschiedlicher Geometrien auf Substraten, entweder einzeln oder im Batch-Format. Telius SP etcher verfügt zudem über eine fortschrittliche intelligente Diagnoseeinheit (IDS), die die optimale Leistung gewährleistet. Diese Maschine verwendet eine Reihe von Sensoren, um die Prozessbedingungen kontinuierlich zu überwachen und Rezepturparameter anzupassen, um die besten Ergebnisse zu gewährleisten. Dieser Ätzer verwendet auch ein einzigartiges dreidimensionales Elektrodenwerkzeug, das überlegene Flächendeckungsraten sowie kleinere Metall-Verbindungsleitungsbreiten bietet. TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP Ätzer wurde entwickelt, um Wartungs- und Reparaturkosten zu reduzieren. Das Gerät verfügt über ein robustes Design mit schnell entfernbaren Komponenten, wodurch es einfach ist, den Ätzer schnell und effizient zu warten und zu reparieren. Der Ätzer bietet zudem eine Niederdruckkorrektur und ein intelligentes Reinigungsmodell, das hilft, Ausfallzeiten während Wartungszeiten zu reduzieren. Abschließend ist TEL Telius SP etcher/asher eine All-in-One-Maschine zur Herstellung von Halbleiterprodukten. Es ist in der Lage, schnelle, hochpräzise Ätzraten auf Substraten und bietet mehrere erweiterte Funktionen, einschließlich Automatisierungs- und Diagnosesysteme, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Diese Maschine ist ideal für die Herstellung fortschrittlicher Geräte und Schaltungen und bietet enorme Zuverlässigkeit, Wiederholbarkeit und geringe Wartungskosten.