Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS (JIOX) #293646437 zu verkaufen

TEL Telius TSP-30555SS (JIOX) ist ein Ätzer/Ascher für Waferanwendungen in der Halbleiterherstellung. Die Einheit verfügt über eine große Prozesskammer, die eine ganze Reihe von Ätzoperationen ermöglicht, wie reaktives Ionenätzen (RIE), Ätzrücken, Ionenfräsen, Ionenätzen und tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE). Die Kammer weist außerdem einen einstellbaren Gasstrom und einen automatischen Gasschalter auf, so dass Benutzer die Flexibilität haben, mit verschiedenen Ätzprozessen zu arbeiten. Das TSP-30555SS ist mit einer leistungsstarken 3-Achsen-Motorstufe ausgestattet, die eine präzise Waferbelastung und Wafer-Positionierung ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über ein optionales Luftmesser, das die Schmutzerzeugung minimiert, ein Absperrventil, das während des Ätzvorgangs eine schnelle Reaktions- und Temperaturregelung aufrechterhält, und eine Turbopumpe, die den Kammerdruck niedrig hält. Das erweiterte Lastschloss ermöglicht auch eine schnelle Wafer-Nachladung und einfache Wartung. In puncto Sicherheit verfügt TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS über mehrere integrierte Funktionen, die die Bedienersicherheit verbessern. Es kommt mit einem automatisierten Sicherheitstür- und Wafer-Identifizierungssystem und einem Notfallsystem, das eine schnelle Abschaltung des Ätzers im Notfall ermöglicht. Das Gerät verfügt auch über mehrere Sicherheitseinrichtungen wie ein Verriegelungssystem, Trockenfilmschutz und einen Ionisator, die dazu beitragen, das Verunreinigungs- und Beschädigungspotenzial der Ätzkammer zu reduzieren. TEL/TOKYO ELECTRON Telius TSP-30555SS bietet auch Benutzerfreundlichkeitsfunktionen wie eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Bedienung und Datenverwaltung, benutzerfreundliche Überwachungs- und Kalibrierwerkzeuge und einen integrierten Gerätemanager. Es verfügt auch über Schnittstellen für externe Signalein- und -ausgänge, was eine erhöhte Flexibilität bei der Steuerung der Parameter und Prozesse ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät mit Ethernet- und RS232-Anschluss ausgestattet, mit dem Benutzer eine Verbindung zu Netzwerksystemen sowie Fernüberwachung und -steuerung herstellen können. Insgesamt ist TEL Telius TSP-30555SS ein leistungsstarker Ätzer/Ascher mit einer großen Auswahl an Funktionen und Flexibilität. Seine Kammer kann eine Vielzahl von Ätzprozessen und seine Sicherheitsmerkmale, benutzerfreundliches Design und externe Schnittstellen bieten Benutzern die Möglichkeit, sowohl effizient als auch effektiv zu arbeiten.