Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Tellius JIN #9399574 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Tellius JIN ist eine hochmoderne Ätz- und Aschermaschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses System wurde entwickelt, um präzise Muster auf Wafern zu erstellen, um qualitativ hochwertige integrierte Schaltungskomponenten (IC) herzustellen. Die JIN ist eine Sammlung integrierter Werkzeuge für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, von Ätz- und Aschwerkzeugen bis hin zu chemischen Managementwerkzeugen. Die Ätzwerkzeuge der JIN verwenden ein induktiv gekoppeltes Plasma (ICP), um strukturierte Masken schnell und präzise von der Waferoberfläche auf die darunterliegenden Geräteschichten zu übertragen. Dieses Verfahren eliminiert Materialrückstände und verbessert die Geräteleistung und Zuverlässigkeit. Die JIN unterstützt auch mehrere Ätztechniken, einschließlich Tiefgraben, Standardkraft und sequentielles Ätzen. Alle Techniken sind auf Effizienz und Genauigkeit optimiert, und das Gerät ist in der Lage, komplexe Ätzprofile mit einer gleichmäßigen Tiefenauflösung durchzuführen. Das Aschwerkzeug der JIN ist ein hocheffizientes und präzises Werkzeug zum Entfernen von Material aus Wafern und Geräteflächen. Mit einer Kombination aus Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition und Microwave-Editor-Plasma (MEP) Technologie ist die Maschine in der Lage, Material effizient zu entfernen und gleichzeitig eine feste Schicht aus Schutzpolymer zu hinterlassen. Diese Schicht schützt das Gerät vor Oxidation, hält die Leistung hoch und verhindert Materialverunreinigungen. Darüber hinaus verfügt die JIN über ein leistungsstarkes Chemical Management Tool (CMS) zur präzisen Kontrolle flüssiger Chemikalien. Das CMS stellt sicher, dass nur hochwertigste Chemikalien in den Ätz- und Ascheprozessen eingesetzt werden und das Gut die Konzentration von Chemikalien genau überwachen und anpassen kann, um die Prozessleistung zu maximieren. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen zur automatischen Abstimmung und Kalibrierung sorgt das CMS für ein konsistentes chemisches Verhalten und stellt sicher, dass Ätz- und Ascheprozesse präzise und wiederholbar sind. TEL Tellius JIN ist ein zuverlässiges, präzises und effizientes Ätz- und Aschemodell für die Halbleiterindustrie. Seine fortschrittliche Technologie und leistungsstarke Werkzeuge sorgen für eine bedeutende Steigerung der Gerätequalität und der Erträge, und die Ausrüstung gewährleistet eine präzise Kontrolle über chemische Management-, Ätz- und Ascheprozesse. Mit seiner hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ist die JIN ein wesentliches Werkzeug für die moderne Herstellung von Halbleiterbauelementen.