Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trais #9211658 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
TEL/TOKYO ELECTRON Trais ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es bietet einen schnellen, präzisen Ätz-/Aschevorgang, der sehr wiederholbar und präzise ist. Das TEL Trais-System besteht aus mehreren Schlüsselgeräten, darunter eine Steuereinheit, eine Ätzeinheit, eine Aktualisierungseinheit und eine Lade-/Entladeeinheit. Die Steuerung des gesamten Ätz-/Ascheprozesses obliegt dem Steuergerät. Es enthält eine Vielzahl von Software, die verwendet werden kann, um den Prozess zu konfigurieren und für das Material anzupassen, Einstellung für jede Schicht oder Prozess, und Ausrüstung Einstellungen. Dies ermöglicht eine sehr präzise Steuerung des Prozesses. Die Ätzeinheit ist die Hauptätz-/Ascheeinheit in der TOKYO ELECTRON Trais-Einheit. Es enthält eine Reihe von Kammern und Robotern, die den Wafer lenken, ätzen und reinigen. Die Ätzeinheit enthält auch eine Kammer, die in der Lage ist, ein Oxid über dem Wafer abzuscheiden, um die Isolationsschicht für Halbleiterbauelemente zu bilden. Die Aktualisierungseinheit wird verwendet, um unerwünschte Partikel oder Verunreinigungen zu entfernen, die möglicherweise in der Ätzeinheit zurückgelassen wurden. Es wird auch verwendet, um Ätzumgehungsprodukte zu entfernen. Die Refresh Unit ist in der Lage, den Wafer mit ultrareinen Chemikalien zu reinigen und sicherzustellen, dass Restpartikel oder Verunreinigungen entfernt werden. Die Be-/Entladeeinheit ist für den Austausch von Wafern zwischen den verschiedenen Einheiten der Trais-Maschine verantwortlich. Die Load/Unload Unit ist in der Lage, die Wafer für die Etch Unit zu sortieren und auszurichten. Sie kann auch zum Be- und Entladen der Wafer zur Weiterverarbeitung verwendet werden. Das TEL/TOKYO ELECTRON Trais-Werkzeug ist für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen konzipiert und bietet einen präzisen und wiederholbaren Ätz-/Aschevorgang. Es ist auch in der Lage, Oxidabscheidung und Nachätzreinigung durchzuführen, was hochpräzise und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. TEL Trais asset ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor