Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias Ex-II #9351479 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ex-II ist ein Ätzer oder Ascher, der speziell für den Einsatz in der Herstellung elektronischer Geräte entwickelt wurde. Es handelt sich um eine Art CVD-Ausrüstung, die in der Lage ist, dicke Schichten aus dielektrischen oder Metallmaterialien auf Substraten wie SiC, SiO2 und TaN abzuscheiden. TEL Trias Ex-II bietet schnelle, präzise und stark wiederholbare Prozesse in sehr kompakter Bauweise und eignet sich somit für die Herstellung kleinerer Geräte. Das System verwendet eine patentierte Multi-Gun-Technologie mit einer verstellbaren Loadlock-Kammer, die Substrate bis zu einer Größe von 450 mm handhaben kann. Es eignet sich gut für ein breites Spektrum fortschrittlicher Forschungs- und Produktentwicklungsanwendungen in der Nanotechnologie. TOKYO ELECTRON Trias Ex-II ist eine fortschrittliche Einheit, die Plasma Enhanced CVD (PE-CVD) zum Abscheiden verschiedener dünner Filme verwendet. Es hat eine unabhängige, Tri-Gun-Kammer-Design mit einer Stange und oberen Duschkopf. Jede Pistole wird von jedem eigenen Fahrer und Emitter gesteuert. Durch die Kombination von PE-CVD mit nachgeschaltetem Ätzen ermöglicht es die Abscheidung einer vollständigen, dichten Filmstruktur mit einer minimalen Anzahl von Verarbeitungsschritten. Die Maschine ist mit einer Reihe automatisierter Funktionen ausgestattet, die den Abscheidevorgang vereinfachen. Dazu gehören die automatische Kalibrierung und Auswahl der entsprechenden Prozessparameter sowie ein Auto Layer Thickness Optimizer (OTR), der automatisch die optimale Abscheidungsleistung fördert. Darüber hinaus ist Trias Ex-II in der Lage, eine Temperaturbehandlung durchzuführen und dem abgeschiedenen Film Stress zuzufügen, um reale Bedingungen zu simulieren. Das Tool enthält auch einen Platinum 5.5 EndPoint Monitor, der Echtzeit-In-Line-Wafer-Steuerung bietet, die eine präzise Schichtsteuerung und höhere Prozessausbeuten ermöglicht. Es ist mit fortschrittlichen Verriegelungen entworfen, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und verfügt über eine Abgas- und Depowdering-Fähigkeit. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias Ex-II Ätzer/Ascher eine leistungsstarke und vielseitige Ätzanlage, die sich gut für die Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte eignet. Es bietet einen präzisen, stark wiederholbaren Prozess mit schnellem Durchsatz und ausgezeichneter Schicht- und Endpunktkontrolle, der die Herstellung von Geräten mit höheren Ausbeuten ermöglicht.