Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias MU SPA #9267460 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias MU SPA ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für die Halbleiter- und MEMS-Verarbeitung. Es verwendet die modernste Technologie wie RF 500-MHz-Macht, Zeit des Flugs sekundäre Ionsmassenspektrometrie (TOF-SIMS) und niedrige Energiebalkenabsetzung (LEBD), um genaue Ätzenergebnisse zu liefern. Die Maschine verfügt über eine Standard-Wafergröße von 6 Zoll und ermöglicht eine hochpräzise Musterung für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Leiterplatten, MEMS-Geräte, Sensoren und andere mikroelektronische Komponenten. Der Ätzer/Ascher ist außerdem mit einer dielektrischen Schichtabscheidekammer sowie einer in-situ optischen Ausrichteinrichtung ausgestattet. TEL Trias MU SPA verwendet einen Multi-Pass-Ätzprozess, der genaue Ergebnisse mit einer Kombination von reaktiven Ionen gewährleistet und dabei dünne Schichten aus vordefiniertem Siliziumdioxid und Siliziumnitrid abscheidet. Der Ätzer/Ascher weist außerdem ein Mehrkammersystem auf, das es ermöglicht, die Ergebnisse des Ätzprozesses zu verbessern, indem für jede Ätzphase unterschiedliche Gase verwendet werden können. TOKYO ELECTRON Trias MU SPA verfügt auch über mehrere hochmoderne Sicherheitsfunktionen, wie fortschrittliche Ionenquellensteuerungssysteme, eine Vakuumverriegelungseinheit und eine umfassende Hardware-Schutzmaschine, die versehentliche Antriebsschäden überwacht und verhindert. Dies gewährleistet einen sicheren und effizienten Betrieb, ohne die Qualität der Ergebnisse zu beeinträchtigen. Trias MU SPA eignet sich gut für den Einsatz in mikroelektronischen Anwendungen, da es hochpräzise Ätz- und Abscheideprozesse sowie überlegene Sicherheitsmerkmale bietet. Es ist eine ideale Wahl für eine breite Palette von Halbleiter- und MEMS-bezogenen Projekten.