Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9205617 zu verkaufen

ID: 9205617
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
CVD System, 12" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist ein Ätzer/Ascher, der für die Abscheidung dünner Filme auf Substraten ausgelegt ist. Es ist so konzipiert, dass es eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung auf einer bestimmten Fläche mit außergewöhnlicher Präzision und Kontrolle ermöglicht. Dieser Ätzer/Ascher ist mit einer Bedienungsausrüstung ausgestattet, die eine intuitive Benutzeroberfläche bietet. Sie nutzt mehrere Ein-/Ausgabegeräte, wie einen Computer, ein Touchpanel und ein Display, um die volle Steuerung des Betriebsprozesses zu gewährleisten. Das System umfasst eine Abscheidekammer, eine Vakuumeinheit, eine Gasfördermaschine sowie ein Pumpen- und Ventilwerkzeug. Es enthält auch einen HF-Stromgenerator und eine Steuereinheit, die den Prozess steuert. Der Ätzer/Ascher verwendet einen Hochfrequenz-Plasmagenerator, um ein gleichmäßiges Plasma innerhalb einer Abscheidekammer zu erzeugen. Der Plasmagenerator ist auf eine vorgegebene Frequenz für das gewünschte Dünnfilmmaterial abgestimmt. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Sputterprozesses, wodurch eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat erfolgt. Mit dem Ätzer/Ascher können verschiedene Materialien, wie Aluminium, Zink und Titan, sowie eine Vielzahl von Filmen, darunter kristalline und amorphe Materialien, abgeschieden werden. Die Anlage kann auch Metalle, wie Kupfer und Silber, auf einer breiten Palette von Substraten, einschließlich Siliziumscheiben, Kunststoffplatten und Glas abscheiden. Darüber hinaus kann es verwendet werden, um Substrate aus einer Vielzahl von Winkeln abzuscheiden, einschließlich aufgedampfter, kolloidaler und elektronenstrahlabscheidender Materialien. Es hat auch die Fähigkeit, mehrschichtige Folien abzulegen. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine genaue und kontrollierbare Foliendicke ermöglichen. Diese Eigenschaften umfassen anpassbare Abscheidungsgeschwindigkeit, Vakuumniveau, Druck, HF-Leistung und Kammertemperatur. Zusätzlich kann ein Inertgasschild zur Steuerung der Abscheiderate und zur Verhinderung der Abscheidung unerwünschter Materialien sowie zur Bereitstellung einer inerten Umgebung innerhalb der Abscheidekammer verwendet werden. Der Ätzer/Ascher ist in der Lage, eine gleichmäßige, ultrapräzise Abscheiderate und Prozesssteuerung über einen Bereich von Temperaturen und Gasströmen bereitzustellen. Es ist in der Lage, dünne Filme mit einer Dicke von bis zu 50 nm und größer mit wiederholbarer Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit von Lauf zu Lauf abzuscheiden. Dies erhöht die Präzision des Produkts und verringert die Variation von Lauf zu Lauf, was zu höherer Ausbeute und besserer Leistung führt. TEL Trias SPA Ätzer/Ascher ist ein zuverlässiges, langlebiges Produkt, das eine gleichmäßige Abscheidung von dünnen Folien mit hoher Präzision über Substrate ermöglicht. Es ist einfach zu bedienen, hoch kontrollierbar und kann verwendet werden, um eine Vielzahl von verschiedenen Materialien abzulegen. Es ist ein effizientes Werkzeug, das die Qualität und Produktivität jedes Filmabscheidungsprozesses steigern kann.
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