Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9220304 zu verkaufen

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ID: 9220304
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2005
Plasma nitridation deposition system, 8"-12" Load port Single chamber system 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist ein Ätzer/Assembler, der speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es verfügt über einen automatisierten Inline-Ätz-/Montageprozess, der eine effiziente, kostengünstige Herstellung von Halbleiterchips ermöglicht. Der Ätz-/Montageprozess beginnt mit der Injektion von flüssigen Vorstufen in das TEL Trias SPA-Bad. Die Flüssigkeitsvorläufer reagieren mit dem belichteten Bereich der Halbleiterscheibe und erzeugen Ätzmuster und Geometrien. Mit diesen Ätzgeometrien werden die gewünschten elektronischen Bauelemente auf der Halbleiterscheibe aufgebaut. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Trias SPA mit automatischer Computer-Vision ausgestattet, die es dem Gerät ermöglicht, die gezielten Ätz-/Montagepunkte zu identifizieren und zu lokalisieren, um die Präzision und Wiederholbarkeit des Prozesses zu erhöhen. Das System verfügt auch über eine integrierte CCD-Kamera, die eine hochauflösende Inspektion der Ätzmuster nach Abschluss des Prozesses ermöglicht. Dies hilft dem Gerät, mögliche Fehler oder Mängel in den produzierten Komponenten zu erkennen und somit den höchsten Qualitätsstandard für die hergestellten Späne zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Maschine mit fortschrittlicher Abscheidetechnologie ausgestattet, die es ermöglicht, Metall, Isolierung und andere Substanzen auf der Oberfläche des Wafers abzuscheiden. Dieser Schritt erhöht die Prozessgenauigkeit und Effizienz weiter und ermöglicht eine hohe Ausbeute an Chips. Darüber hinaus ist die Trias SPA-Maschine für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ausgelegt, wodurch die erforderliche menschliche Arbeit und das Fehlerrisiko minimiert werden. Es ist auch einfach zu warten und integriert leicht in bestehende Halbleiter-Produktionslinien. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ein äußerst zuverlässiges und effizientes Werkzeug zum Ätzen und Montieren von Halbleiterscheiben, das die Herstellung fortschrittlicher und komplexer Chipkonstruktionen kostengünstig ermöglicht.
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