Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9284152 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist ein automatisierter Ätzer/Ascher-Prozess, der sowohl für die Herstellung physikalischer als auch elektronischer Geräte entwickelt wurde. Das Verfahren ermöglicht es Herstellern und Ingenieuren, eine Vielzahl von Oberflächen mit minimalen Merkmalsgrößen bis zu 10 Nanometern präzise zu strukturieren und hat die Flexibilität, organische, anorganische und polymere Materialien zu verarbeiten. Das Gerät besteht aus drei Hauptkomponenten: der Kammer, der Plasmaquelle und der Steuerelektronik. Die vakuumbasierte Prozesskammer des Systems, das Herzstück der Einheit, ist mit fortschrittlichen Funktionen für Abgase, Evakuierung und Gasverteilung konzipiert und ermöglicht eine breite Palette von Verarbeitungsanwendungen. Der Ausgang der an der Prozesskammer angebrachten Plasmaquelle ermöglicht verschiedene Plasmaätzchemien, während die Maschinensteuerung präzise und wiederholbare Prozessrezepte für überlegene Produktausbeuten ermöglicht. TEL Trias SPA umfasst eine Vielzahl von Funktionen, die eine optimale Prozesssteuerung und -leistung gewährleisten, wie ein ausgeklügeltes PLC-Steuerungstool für Wafer zur automatischen Definition der Bestandteile des Ätzprozesses. Darüber hinaus umfasst das Asset eine Vielzahl nützlicher Hilfsfunktionen wie Echtzeit-Datenerfassung, Alarmdatenüberwachung und automatische Prozessrezeptanpassung, die zur Maximierung der Prozessleistung beitragen. Das Modell umfasst auch eine Reihe grafischer Überwachungsschnittstellen, die Ingenieuren bei der Prozessentwicklung und Qualifizierung der Halbleiterbauelementherstellung helfen. Die erweiterten Druckmessfähigkeiten des Geräts in Kombination mit seiner grafischen Echtzeit-Schnittstelle ermöglichen eine effiziente Anpassung der Verarbeitungsparameter für präzise und wiederholbare Ätzergebnisse. Um gleichbleibende Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten, wurde TOKYO ELECTRON Trias SPA entwickelt, um Ausfälle und Wartungskosten zu minimieren. Dies wird durch den Einsatz fortschrittlicher Steuerungssysteme, starker Magnetfutter, korrosionsbeständiger Heizungen und spezialisierter Vakuumpumpen erreicht. Insgesamt ist das Trias SPA-Ätzsystem ein leistungsfähiges und zuverlässiges Geräteherstellungswerkzeug, das eine kostengünstige Lösung für das Ätzen einer Vielzahl von Oberflächen mit kleinen Funktionsgrößen bietet. Seine Flexibilität, Präzision und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.