Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9294450 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Prozesskontrolle und Zuverlässigkeit zu bieten, um Herstellern zu helfen, höchste Erträge zu gewährleisten. TEL Trias SPA verfügt über mehrere Schlüsselkomponenten und erweiterte Funktionen. Das fortschrittliche Kammerdesign schafft eine stabile Hochvakuumumgebung, so dass Benutzer die schnellste Ätzrate erreichen können, ohne die Prozessparameter wie Temperatur oder Gasfluss zu beeinträchtigen. Das reibungsarme Spannfutter, die Schieberventile und der erweiterte Lastanschluss bieten verbesserte Temperatur- und Sicherheitsfunktionen, während die Strahlenleitungsführungen eine maximale Gleichmäßigkeit über den Wafer gewährleisten. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, die höchste Gleichmäßigkeit mit der kürzesten Ätzzeit zu erreichen. Die hohe Genauigkeit von TOKYO ELECTRON Trias SPA macht es ideal für geätzte Features oder Mustergrößen, die exakte, wiederholbare Ergebnisse erfordern. Das Gerät ist mit Photoresist-Dickenüberwachung verfügbar, die es Benutzern ermöglicht, die Genauigkeit ihres Ätzauftrags besser zu verstehen, so dass sie Rezepte anpassen und Erträge erhöhen können. Trias SPA verfügt auch über ein umfassendes Paket fortschrittlicher Software. Das Digital Recipe Management System ermöglicht den Anwendern die einfache Verwaltung der Rezeptbibliothek und kann sogar mit der Befehls- und Steuereinheit einer Einrichtung integriert werden. Die Advanced Process Control-Maschine kompensiert automatisch Variationen von Prozessparametern, während das integrierte Co-Simulation-Tool es Anwendern ermöglicht, Nachwirkungen eines Prozesses vor seiner Ausführung auszuwerten. Die fortschrittliche, automatisierte Kammerreinigung nutzt eine dreistufige Kammerreinigung mit individuell adressierbaren Kammern und sorgt für schnellere Rückgewinnungszeiten und hohe Sauberkeit von Wafern. TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist eine fortschrittliche Ätzmaschine für die Halbleiterindustrie. Seine robusten Eigenschaften gewährleisten eine überlegene Prozesskontrolle, hohe Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie kürzere Ätzzeiten. TEL Trias SPA hilft Benutzern, die Erträge zu steigern, indem es eine umfassende Suite fortschrittlicher Software mit digitalem Rezeptmanagement und fortschrittlichen Prozesskontrollsystemen sowie ein automatisiertes Kammerreinigungsmodell bereitstellt.