Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9315410 zu verkaufen

ID: 9315410
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
CVD System, 12" Mainframe EFEM YASKAWA XU-RVM4100 SHINKO BX80-070641-11 SHINKO BX80-070786-11 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der zum Tiefätzen unterschiedlichster Materialien konzipiert wurde. Diese Ätz-/Aschermaschinen sind mit einer Siliziumätzfähigkeit von bis zu 500 μ m ausgestattet. TEL Trias SPA ist in der Lage, geätzte Muster mit Eigenschaften von bis zu 3,5 μ m, mit ausgezeichneter Genauigkeit und ausgezeichneter Musterreproduzierbarkeit bereitzustellen. Der Ätzer/Ascher eignet sich ideal zum Ätzen einer Vielzahl von Materialien, von Silizium bis zu anderen Substraten wie Quarz, Keramik, Glas, ITO und anderen Materialien. Der Ätzer/Ascher erreicht eine hervorragende Profilsteuerung und eine minimale Überätzung der Funktionen, wodurch präzise erzeugte Muster ermöglicht werden. TOKYO ELECTRON Trias SPA Ätzer/Ascher ist mit Standardkomponenten wie einem Quarzfutter und einem Quarzätzwaferhalter ausgestattet. Es ist als kompakte Ausrüstung konzipiert, die sehr wenig Bodenfläche einnimmt und somit höhere Prozessdichten ermöglicht. Der Ätzer/Ascher ist benutzerfreundlich und lässt sich einfach bedienen. Das System ist mit einer Vielzahl von Steuerprogrammen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, den optimalen Prozesszustand auszuwählen und das beste Ätzergebnis zu erzielen. Das Gerät ermöglicht es Benutzern auch, den Ätzprozess zu überwachen und sicherzustellen, dass das Ätzmittel ideal für das Material ist. Trias SPA Ätzer/Ascher eignet sich zur Prozesssteuerung einer Vielzahl von Materialien und Substraten. Es kann sowohl anisotrope als auch isotrope Ätzprozesse verarbeiten. Der Ätzer/Ascher ist mit mehreren erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um einen sicheren Ätzprozess zu gewährleisten. Es ist mit einer vollfarbigen grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, die die Steuerung der Maschine vereinfacht. Die GUI ermöglicht es auch, Traceback-Daten im Laufe der Zeit zu verfolgen, um Genauigkeit und Gleichmäßigkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA etcher/asher über eine Vielzahl von Funktionen, mit denen Benutzer die Maschine überwachen und warten können. Es bietet sowohl manuelle als auch automatische Substratreinigungsfähigkeit, verengt Prozessfenster für bestimmte Wafergrößen und vereinfacht die Prozesswartung. Darüber hinaus unterstützt der Ätzer/Ascher sowohl Batch-Level-Programmierung als auch Single-Wafer-Programmierung und ist somit ideal für eine Vielzahl von Ätzanwendungen. Insgesamt ist TEL Trias SPA etcher/asher ein fortschrittliches, zuverlässiges Ätz-/Ascherwerkzeug, das präzise, zuverlässige Ergebnisse erzielen und gleichzeitig wertvolle Prozesskontrollfähigkeit, Prozessüberwachung und Sicherheitsfunktionen bieten kann. Es eignet sich für eine Vielzahl von Ätz- und anderen Anwendungen und ist eine gute Wahl für Labore und Produktionsstätten gleichermaßen.
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