Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253817 zu verkaufen
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TEL Trias TI/TIN ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Halbleiterverarbeitung. Es verwendet Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Technologie, um Artikel mit sehr hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu produzieren. Es wird in erster Linie in der Halbleiterindustrie für Anwendungen wie Sub-100nm Feature Size Generation verwendet. Der Ätzvorgang selbst wird in einer Vakuumkammer durchgeführt. Die Prozessgase, die je nach Aufgabenstellung ausgewählt werden, werden zusammen mit der Probe in die Kammer eingeleitet. Während des Prozesses erzeugen elektrische Felder und Explosionen aus dem Inneren der Kammer eine Ätzumgebung. Diese Umgebung wirkt mit den Prozessgasen und der Probe zusammen, um Material in hochpräziser Reihenfolge zu ätzen, zu glühen und abzuscheiden, was zu zwei- und dreidimensionalen Strukturen mit gemustertem Ätzprofil führt. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN ist mit einem Graphit-Suszeptor ausgestattet, der das zu ätzende Element schützt und sicherstellt, dass die Temperatur auf einem optimalen Niveau gehalten wird. Dieses System sorgt dafür, dass die Artikel bei sehr wenig Flackern hochstabil bleiben und ermöglicht somit ein hochpräzises Ätzen und Glühen. Das System ist außerdem mit einem automatischen Wafer-Handler ausgestattet, der es ermöglicht, mehrere Gegenstände gleichzeitig zu ätzen und zu glühen. Die Handler sind in der Lage, die Probe in verschiedene Richtungen genau zu platzieren und zu bewegen, um eine ganze Reihe von Ätzprozessen zu ermöglichen. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN kommt mit einer 3-Mikron-Auflösung und war das Erfolgszeichen für TEL in der Waferverarbeitungsindustrie. Es ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen wie Ozon-Sicherheitsverriegelungsmechanismus ausgestattet, die den Wafer vor Ozonaustritt schützen. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN ein Ätzer/Ascher, der hochgenau, wiederholbar und zuverlässig ist und es Anwendern ermöglicht, hochpräzise zwei- und dreidimensionale Strukturen zu erzeugen. Es ist mit einem Graphit-Suszeptor, automatischen Wafer-Handlern, einer 3-Mikron-Auflösung und einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die sicherstellen, dass die Artikel in einem sehr stabilen Zustand bleiben und sie vor Ozonaustritt schützen.
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