Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9253877 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN
ID: 9253877
Wafergröße: 12"
Metal CVD system, 12".
TEL Trias TI/TIN ist ein hochleistungsfähiger, automatisierter Ätzer, der mehrere Ätz- und Stripptechnologien kombiniert, um eine reibungslose und qualitativ hochwertige Ätzung für eine Vielzahl von Resist- und Substratmaterialien zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN Ausrüstung verfügt über fortschrittliche Schichten von Stiction-resistenten und elektromagnetischen Schutz, die zuverlässige und hohe Kapazität Ätzen gewährleisten, ohne die Qualität zu beeinträchtigen. Es unterstützt mit seiner Shape Wizard-Software beliebige Prozesspläne und reduziert mit seinem robusten und zuverlässigen PECVD-Monitor deutlich Ausfallzeiten. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN Ätzer ist mit zwei Plasmaquellen ausgestattet, einer voreingestellten Quelle, die die 50mA von Ionenstrom und eine unvoreingenommene Quelle für abstimmbare Ätzleistung liefert. Jede Quelle hat unabhängig einstellbare Plasmaparameter und -temperatur, die eine optimale Steuerung beim Ätzen ermöglichen. Dies ermöglicht eine hochwertige Ätzung und eine gute Selektivität zwischen unterschiedlichen Materialien, wodurch TEL Trias TI/TIN für viele eine beliebte Wahl ist. Es unterstützt auch eine breite Palette von Eingangs- und Ausgangsspannungsparametern, die eine direkte Kompatibilität mit medizinischen und Halbleiterbauelementen ermöglichen. Darüber hinaus ist die Prozesskammer von TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN robust gebaut, um Verschmutzungen zu reduzieren und Reaktionskammerdrift im Zusammenhang mit Temperatur- und Druckschwankungen zu verringern. Die Kammer kann auch leicht geöffnet, gereinigt und für verschiedene Ätzanwendungen eingestellt werden. Es enthält auch eine zusätzliche Mini-Verschlusskammer für Band- und HF-Vorreinigungsprozesse und spezielle Prozesse im Zusammenhang mit Sputterätzen für hochsteife Materialien. Das gesamte Steuerungssystem von TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN ist ebenfalls sehr leistungsstark und umfasst nicht nur den Shape Wizard, eine grafische Benutzeroberfläche, die für eine einfache Auftragsprogrammierung und Ätzmustererkennung auf Dünnschichtmustern konzipiert ist, sondern auch eine Vielzahl weiterer Steuerungskomponenten. Das Gerät umfasst einen automatischen Einstellzeitgeber, eine ESC-Taste, ein mehrsprachiges Unterstützungsmenü sowie ein Kontrolleinstellfenster und ein Alarmfenster, mit denen Sie den Prozess überwachen können. Darüber hinaus umfasst es auch den ECO-Modus, der hilft, die Ätzkosten durch die Optimierung der Belastung der Plasmaquellen niedrig zu halten, und eine OVLF-Maschine (overload protection), die die Stromquellen automatisch abschaltet, wenn sie ihre programmierten Grenzen überschreiten. Abschließend ist TEL Trias TI/TIN ein äußerst zuverlässiger Ätzer, der auf maximale Effizienz und optimale Ergebnisse ausgelegt ist. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, wie seine vielseitigen Plasmaquellen, seine robuste Prozesskammer und sein leistungsstarkes Steuerwerkzeug, machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Ätzanwendungen.
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