Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294366 zu verkaufen

TEL Trias TI/TIN ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertiges, gleichmäßiges Ätzen/Schatten auf allen Arten von Materialien zu liefern, einschließlich Silizium, Glas, Polysilizium und Quarz. Der Ätzer/Ascher verfügt über zuverlässige, standarddefinierende Ätz-/Schattenprozesse. Es enthält ein programmierbares Steuerungssystem mit fortschrittlicher Software, die von TOKYO ELECTRON entwickelt wurde und wiederholbare, qualitativ hochwertige Ergebnisse ermöglicht. Der Ätzer/Ascher besteht aus einer beheizten Substratplatte, einer Fokussierlinse, einer Düse zum Ätzen/Abschatten, einem Plasmagenerator und einem Substrattemperaturmonitor. Es ist mit einer Peltier-Kühleinheit ausgestattet, um sicherzustellen, dass das Substrat nach dem Ätzen/Abschatten korrekt gewartet und abgekühlt wird. Der Ätzer/Ascher zeichnet sich durch hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie einstellbare Strahlgeschwindigkeit und Winkel für optimiertes Ätzen/Schatten aus. Die Maschine ist mit einer Vakuumpumpe ausgestattet, um die Ätz-/Schattenumgebung sauber und trocken zu halten. Es ist auch mit einem eigenen Auspuffwerkzeug ausgestattet, das sicherstellt, dass ausgestoßene Partikel aus dem Arbeitsraum entfernt werden. Das Asset ist auch mit einem genauen Ätz-/Schattenmonitor ausgestattet, der den Ätz-/Schattenprozess verfolgt und Benutzer benachrichtigt, wenn der Prozess abgeschlossen ist. Der Ätzer/Ascher unterstützt auch mehrere Arten von Ätzen/Schatten, wie anisotropes, isotropes und Decken-Ätzen/Schatten. Darüber hinaus kann das Modell mit gemustertem Ätzen/Schatten umgehen und verfügt über die Möglichkeit, große Flächen zu ätzen/schatten. Schließlich umfasst die Ausrüstung Leistungsmanagement, Ionenstrahl-Abscheidung und Wafer-Schutz-Features, so dass es eine zuverlässige und vielseitige Ätzer/Ascher für industrielle Anwendungen.