Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN #9294475 zu verkaufen

TEL Trias TI/TIN ist ein Ätzer/Ascher für Halbleiteranwendungen. Es ist eine Heizplattenart von Maschine, die viele Präzisionsätz- und Strippprozesse mit schnellen Umdrehungen durchführen kann. Die Maschine besteht aus vier Kammern; Ätz-, Streifen-, Transfer- und Abgaskammer. Die Ätzkammer enthält die Ätzeinheit, in die ein Siliziumsubstrat zur Strukturierung in Ätzflüssigkeit eingetaucht wird. Die Bandkammer enthält den Ätzflüssigkeitsreiniger, wobei das Substrat Ultraschallschwingungen ausgesetzt ist, die Ätzrückstände aus dem Substrat entfernen. In der Bandkammer wird ein Vakuum erzeugt, um die Ätzflüssigkeit zusammen mit dem erzeugten Rückstand zu entfernen. Die Transferkammer dient zum Transport des Substrats zwischen Ätz- und Bandkammer, während die Abgaskammer zum Entfernen von erzeugten Rauchgasen aus den Kammern dient. Die Maschine ist mit einer fortschrittlichen Steuerung ausgestattet, um Anwendern überlegene Funktionalität und Flexibilität bei der Einstellung der Parameter für ihre Ätz- und Strippprozesse zu bieten. Der Bediener kann die Steuerung verwenden, um Ätzzeit, Ätztemperatur, Ätzdruck und Ätzlösungskonzentration einzustellen. Der Benutzer kann die Einheit auch verwenden, um die Temperatur, den Druck und die Trockenzeit der Bandkammer und der Transferkammer einzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine dem Benutzer, für bestimmte Substrate und Prozesse erstellte Ätzrezepte zu speichern, die jederzeit abgerufen und verwendet werden können. Das Tool überwacht auch die Prozessparameter und gibt Feedback an den Benutzer. TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale, um einen ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten und Unfälle zu verhindern. Es wird ein Erdungsgut eingebaut, das statische elektrische Ladungen eliminiert und ein Maß an Sicherheit während des Ätz- und Strippvorgangs bietet. Das Modell verhindert außerdem, dass die Bedienungspersonen Ätz- und Bandkammern betreten, indem sichergestellt wird, dass die Kammern im Gebrauch ordnungsgemäß verriegelt sind. Eine Alarmanlage wird installiert, die ertönt, wenn einer der Prozessparameter außerhalb ihres festgelegten Bereichs driftet, und den Bediener darauf aufmerksam macht, sie zu korrigieren. TEL/TOKYO ELECTRON Trias TI/TIN bietet eine hohe Präzision und eine schnelle Wende beim Ätzen und Abisolieren von Chips. Es ist für Halbleiteranwendungen konzipiert und sehr zuverlässig und effizient, so dass es eine ausgezeichnete Maschine für die industrielle Produktion.