Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias W #9222545 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias W ist eine Ätz- und Aschereinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es kombiniert Batch-Ätz- und Simultanashing-Fähigkeiten in einer einzigen Plattform und ermöglicht Herstellern eine bessere Prozesskontrolle in ihrem Produktionszyklus. Damit eignet sich TEL Trias W bestens für ein breites Spektrum an Produktionsprozessen, von großvolumigen Einzelprodukten bis hin zu komplexeren Gerätekonstruktionen. Im Kern nutzt TOKYO ELECTRON Trias W eine große Reaktionskammer, um den zu bearbeitenden Wafer unterzubringen. Diese Kammer arbeitet zusammen mit einem chemischen Abgabesystem, um reaktive Arten in die Kammer zu injizieren und den Wafer einer reaktiven Atmosphäre auszusetzen. Da der Wafer dieser Atmosphäre ausgesetzt ist, erfolgt das Ätzen und Aschen in genau gesteuerten Verhältnissen. Dadurch wird sichergestellt, dass Ätz- und Aschevorgänge in gleicher Geschwindigkeit erfolgen und den Herstellern die vollständige Kontrolle über das Endprodukt ermöglicht. Trias W ist auch mit fortschrittlichen Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, so dass es sich an unterschiedliche Produktionsanforderungen anpassen kann. Es enthält eine breite Palette von Parametern zur Steuerung von Druck, Temperatur, Durchfluss, Gasarten und mehr. Dadurch wird sichergestellt, dass das Ätzen und Aschen genau wie vorgesehen erfolgt. TEL/TOKYO ELECTRON Trias W ist auch für Flexibilität konzipiert, so dass mehrere Konfigurationen spezifische Geräteanforderungen erfüllen. Es kann mit verschiedenen Plattengrößen oder mit der Zugabe von zusätzlichen Prozesskammern und Waferübertragungsarmen besonders angefertigt werden. So können Hersteller die Prozesszeiten verkürzen und die Genauigkeit ihrer Gerätekonstruktion maximieren. Darüber hinaus ist TEL Trias W mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um das Gerät und die Betreiber vor möglichen Unfällen zu schützen. Dazu gehören eingebaute Sicherheitsmaschinenmonitore und Alarme, die eventuelle Probleme erkennen und den Prozess entsprechend abschalten. TOKYO ELECTRON Trias W ist ein leistungsstarkes und flexibles Ätz- und Ascherwerkzeug mit der Fähigkeit, Serienprozesse zu bewältigen. Seine Prozesssteuerungsfunktionen, anpassbaren Konfigurationsoptionen und Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Halbleitergerätehersteller, die zuverlässige und genaue Ergebnisse benötigen.