Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293605934 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um mikroelektronische Geräte schnell und mit überlegener Genauigkeit zu verarbeiten. Es verwendet eine mikrofluidische Strahlätztechnik, die Ätzgeschwindigkeit, Präzision und Gleichmäßigkeit maximiert. TEL Trias ist auch mit einem 3-achsigen Zernike-Ausrichtungssystem zur hochpräzisen Ausrichtung des Substrats oder der Waferposition zum Ätzen ausgestattet. TOKYO ELECTRON Trias verwendet eine reaktive Ionenätz- (RIE) Plasmaumgebung, die durch das elektrostatische Feld beschleunigt wird, das von den mehreren Ionenquellen erzeugt wird. Dadurch entsteht ein Ätzprozess mit atomarer Pegelgenauigkeit und einer gleichmäßigen Ätzrate für das gesamte Substrat bzw. Wafer. Die Plasmaumgebung reduziert oder eliminiert die unerwünschten physikalischen Ätzprozesse, die anfällig für Kanten- und Eckenerosion sind, wodurch höhere dichtere Konstruktionen möglich sind. Trias unterstützt auch eine breite Palette von Photoresisttechnologien, einschließlich Standard- und Subauflösungs-Lithographie. Es wurde entwickelt, um einen Durchsatz von bis zu 10 Wafern pro Stunde bereitzustellen, und seine Software wurde entwickelt, um vor- und nachgelagerte Prozesse zu integrieren und zu automatisieren. Die Einheit kann auch komplexe dreidimensionale Strukturen verarbeiten und ist mit den meisten vorhandenen Photomaskenstrukturen kompatibel. TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist in einer schwingungsarmen Isolierkammer untergebracht, die die Genauigkeit verbessert und die Verzerrung der Fotomaske durch Magnetismus minimiert. Die eingebaute Wafer-Handhabungsmaschine reduziert das Risiko von Verschmutzung und Partikelhaftung, und die Waferstufe ist mit Quarzheizelementen ausgestattet, die eine präzise und genaue Wärmekontrolle ermöglichen. TEL Trias wird von einem globalen Netzwerk von Servicevertretern und technischen Experten unterstützt, um Vor-Ort-Support und kundenspezifische Engineering-Lösungen bereitzustellen.