Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293652308 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer/Ascher, der von TEL (TOKYO ELECTRON) Corporation entworfen und hergestellt wurde. Es ist eine hochpräzise Ätz- und Aschevorrichtung, die verwendet wird, um winzige Öffnungen in Dünnfilmschichten und -mustern in den Ätzschichten von Halbleiterchips, mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und integrierten Schaltungsstrukturen (IC) zu erzeugen. TEL Trias ist eine iterative Ätz- und Ascheausrüstung (TEARS) mit verbesserter Genauigkeit und Präzision im Vergleich zu herkömmlichen Trockenätzern und Aschern. Es verwendet einen fortschrittlichen Halbleiterätz-/Aschevorgang, der hochpräzise Ätz-, Asche- und Schneidvorgänge ermöglicht. Das System verfügt über eine verbesserte Prozesszeitsteuerung mit hohem Durchsatz, die es ermöglicht, konsistente Ätzprofile und präzise Muster in den Ätzschichten zu erzeugen. Diese Einheit beinhaltet auch eine präzise Positioniersteuerung über dem Ätzkopf, wodurch eine exakte Positionierung des Ätzkopfes über der Substratoberfläche möglich ist. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Trias auch über integrierte Wafer-Handhabungsfunktionen wie Wafer-Level-Temperaturregelung, präzises Wafer-Futter und Platzierung von Abstandshaltern sowie präzise Wafer-Rotation und -Beladung. Damit ist die Maschine in der Lage, Ätz-, Asche- und präzise Musteraufgaben in einzelne Werkzeugoperationen zu integrieren, zusätzliche Bearbeitungsprozesse zu vermeiden und die Ätz- und Ascheprozesse zu optimieren. Trias beinhaltet auch einen Niederdruck-Rotationsanodischen Oxidation (RRO) Ätzprozess, der präzisere Ätzprofile und höhere Ätzqualität bei gleichzeitiger Beseitigung von Ätzschäden ermöglicht. Darüber hinaus bietet TEL/TOKYO ELECTRON Trias eine verbesserte Prozesssteuerung mit präziser Feuchtigkeits-, Temperatur- und Sauerstoffkonzentrationsregelung in der Ätzkammer, was zu höherer Ätzqualität und höherer Ausbeute bei gleicher Ätzzeit führt. TEL Trias verfügt auch über verbesserte Sicherheits- und Betriebsmerkmale wie beiliegende Robotik, Bewegungssteuerungen, Verschlussventile und Ausrüstung, die zu einer verbesserten Sicherheit und erhöhten Benutzersicherheit führen. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Trias auch nach ISO 14001 zertifiziert, um die Qualität der Performance des Vermögenswertes zu gewährleisten. Durch die Kombination fortschrittlicher Ätz- und Aschetechnologien ist Trias ein idealer Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterchips, MEMS-Strukturen und IC-Strukturen. Es bietet eine verbesserte Genauigkeit, Präzision und Sicherheit und ist damit das ideale Gerät für fortgeschrittene Ätz- und Ascheaufgaben.