Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293677520 zu verkaufen
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ID: 293677520
Weinlese: 2006
Metal CVD system
Process: Ta₂O₅
(2) Chillers
(3) Chambers
Loader
Waste gas treatment system
Uninterruptible Power Supply (UPS)
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer oder Ascher, der in der Halbleitermikrofabrikationsindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. TEL Trias verwendet ein hochgenaues Plasma-verbessertes Verfahren zur chemischen Dampfabscheidung (PE-CVD), das eine überlegene Steuerbarkeit, Wiederholbarkeit, hohe Prozessflexibilität und einen hohen Volumendurchsatz bietet. Um sicherzustellen, dass die Ergebnisse genau und konsistent sind, integriert TOKYO ELECTRON Trias Echtzeit-Datenrückmeldung und Waferbewegungsmessung mit seinen intelligenten Steuerungssystemen. Besonders effektiv ist Trias bei der Lückenfüllung mit seiner bewährten geschlossenen Lückenfüllmodus-Abscheidung, die es ermöglicht, tiefe Poren und extrem enge Lücken mit hochpräziser Abscheidung zu füllen. Neben der Lückenfüllung können TEL/TOKYO ELECTRON Trias zum komplexen Ätzen verwendet werden, wie z.B. das Ätzen der für die Erstellung von Transistoren, Kondensatoren und anderen Grundschaltungskomponenten notwendigen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis. Die eingeschlossene Struktur von TEL Trias reduziert die chemische Exposition und macht sie nicht nur effektiver, sondern auch sicherer. TOKYO ELECTRON Trias verfügt auch über ein Advanced Process Control (APC) System, das eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung bietet. Dieses System ermöglicht eine automatisierte Optimierung von Ätzparametern, um sicherzustellen, dass der Prozess immer optimal läuft. Darüber hinaus ist Trias mit Kammeraktivitäten wie Verschluss, Wafertransfer und Probenaustausch ausgestattet, die es einfach und sicher zu bedienen machen. TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ideal für den Einsatz in Serienumgebungen, in denen konsistente Leistung, zuverlässiges Prozessmanagement und hoher Durchsatz unerlässlich sind. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der bewährten Erfolgsbilanz ist TEL Trias ein zuverlässiges Werkzeug, das Halbleiterherstellern helfen kann, integrierte Schaltungen von höchster Qualität zu produzieren.
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