Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293689274 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Ätzer/Ascher, der induktiv gekoppelte Plasma (ICP) -Technologie verwendet, um eine breite Palette von Materialien wie Quarz, Glas, Silizium-Wafer und Metall genau zu ätzen. TEL Trias ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung bestehend aus mehreren Prozessmodulen und hat die Fähigkeit, sowohl Standardätzen als auch Feinmusterätzen durchzuführen, was eine genaue Kontrolle der Dicke und Wiederholbarkeit erfordert. Die ICP-Quelle von TOKYO ELECTRON Trias enthält einen Hochfrequenzspannungsgenerator und ein großes Glasgehäuse mit inerten Gasen wie Argon, Wasserstoff und Helium. Die ICP-Quelle wird verwendet, um ein Plasma mit kontrolliertem Energieniveau, Temperatur und Druck zu erzeugen, was ein präzises Ätzen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Die Software-Schnittstelle von Trias kann einfach an die spezifischen Bedürfnisse des Kunden angepasst werden. Es enthält eine breite Palette von Prozessparametern und integrierten Parametern, die bei Bedarf angepasst und geändert werden können. TEL/TOKYO ELECTRON Trias verfügt auch über ein einheitliches Gasverteilungssystem, das das ausgegrabene Material gleichmäßig auf der Waferoberfläche verteilt und eine gleichmäßige Ätztiefe und einen gleichmäßigen Widerstand ermöglicht. Die einheitliche Temperaturregelung ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses, die Wiederholbarkeit und ein gleichbleibend hochwertiges Ergebnis gewährleistet. Die Schnittstelle von TEL Trias ermöglicht es dem Anwender auch, die Prozessparameter zu verfolgen, Trends zu analysieren und den Ätzprozess entsprechend den kundenspezifischen Anforderungen anzupassen. Im Hinblick auf die Sicherheit wurde TOKYO ELECTRON Trias entwickelt, um die Sicherheitsvorschriften und -anforderungen des Kunden zu erfüllen und umfassende Sicherheitsfunktionen wie automatische Alarme, Druck- und Durchflussüberwachung, Abgasmaschine und Dampferückgewinnung bereitzustellen. Abschließend ist Trias Ätzer/Ascher ein fortschrittliches Ätzwerkzeug, das in der Lage ist, präzises Ätzen und Feinmusterätzen verschiedener Materialien durchzuführen und hervorragende Sicherheitsmerkmale bereitzustellen.