Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293767140 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine Plasmaätzanlage, die speziell für die Geräteherstellungsforschung und -entwicklung sowie die Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, einzelne oder mehrere Musterschichten in der gleichen Kammer für die Herstellung von modernen MEMS und zugehörigen Geräten zu ätzen. TEL Trias verwendet eine niederfrequente Plasmaquelle, um Ätzschäden auf verschiedenen Mustern zu minimieren und gleichzeitig eine erhöhte Produktivität zu erzielen. Dieses Ätzsystem bietet auch eine breite Palette von Präzisionsplasmaätzfähigkeiten, die die Herstellung von Geräten mit hoher Auflösung und Genauigkeit ermöglichen. Mit einer verbesserten Prozesssteuerung und verbesserten Produktionsmöglichkeiten ist TOKYO ELECTRON Trias eine ideale Wahl für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Trias hat eine Reihe von Merkmalen, die es zu einer attraktiven Ätzmaschine machen. Zum Beispiel verfügt es über ein verbessertes Wärmemanagementwerkzeug und ist mit Hilfe von internen Heizungen und Kühlern in der Lage, Abkühl- und Rückgewinnungszeiten zu beschleunigen. Darüber hinaus ist es mit einer fortschrittlichen automatischen Frequenzsteuerung (AFC) ausgestattet, um die Prozesskonsistenz sowie einen höheren Durchsatz und eine höhere Produktivität zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst das Asset eine integrierte Diagnose zur Überwachung und Steuerung von Plasmabedingungen in Echtzeit und zur schnellen Erkennung potenzieller Probleme. Dies gewährleistet eine hohe Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. TEL/TOKYO ELECTRON Trias kommt auch mit einer Reihe von speziellen Ätzkammern, bietet verschiedene Ätzfähigkeiten und bietet verschiedene Ebenen von Selektivitäten, um verschiedene Materialien zu ätzen. Zum Beispiel ermöglichen dedizierte Kammern tiefes Ätzen, flaches Ätzen und reaktives Ionenätzen. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Reihe fortschrittlicher Komponenten wie eine Mehrpunkt-Vorspannplatte und eine mehrstufige Endpunktdetektionseinrichtung zur Maximierung der Ätzqualität. Schließlich ist TEL Trias einfach zu bedienen und kommt mit einer Reihe von Software und Benutzeroberflächen. Beispielsweise kann es über ein integriertes Touchscreen-Panel gesteuert werden, so dass der Benutzer den Ätzprozess direkt vom Display aus überwachen und steuern kann. Darüber hinaus ist das System mit einer Reihe von Softwarepaketen kompatibel, sodass Benutzer Ätzrezepte erstellen und Ätzergebnisse auswerten können. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON Trias zuverlässige und wiederholbare Ätzleistung für eine breite Palette von Halbleiteranforderungen. Seine erweiterten Ätzfähigkeiten, kombiniert mit seinen umfangreichen Prozesssteuerungsfunktionen, machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung moderner MEMS und verwandter Geräte.