Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778167 zu verkaufen
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ID: 293778167
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Metal Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 12"
Loader module
(2) Loadlock modules
Loader arm
Transfer arm
(3) Front Opening Unified Pods (FOUP)
Orienteer unit
Transfer module
(2) Process modules
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der verwendet wird, um komplexe Muster und verschiedene Formen in Halbleiterscheiben während der Schaffung von integrierten Schaltungen zu erzeugen. TEL Trias arbeitet in Verbindung mit einer computergesteuerten Stufe und ist in der Lage, präzise Ergebnisse mit Leichtigkeit und Genauigkeit zu erzielen. TOKYO ELECTRON Trias wird bei der Herstellung einer Vielzahl von elektronischen Bauelementen wie Transistoren, Dioden und anderen mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt. Trias verfügt über eine HEBS-Kammer (High-Pressure Batch Etch Equipment), die ein High-Aspect-Ratio-Ätzen mit präziser Dickenregelung ermöglicht. Die Kammer ermöglicht eine präzise Steuerung von Ätzparametern wie Zeit, Temperatur, Druck und Chemie. Für präzise Dimensionierung und reproduzierbare Leistung verwendet TEL/TOKYO ELECTRON Trias ein Spin-on-Photoresist-Beschichtungssystem zur gleichmäßigen Beschichtung und einfachen Entfernung des Photolacks. Die integrierte Prozesssteuereinheit von TEL Trias bietet leistungsstarke Echtzeit-Steuerungsfunktionen. Diese Maschine überwacht, kalibriert und verwaltet Prozessparameter, Rezepte und Variablen innerhalb der Kammer. Es hilft auch, die Produktionsqualität zu erhalten und Prozessparameter in akzeptablen Grenzen zu halten. Das ausgeklügelte Prozesssteuerungswerkzeug ermöglicht es dem Anwender auch, Anpassungen im Handumdrehen vorzunehmen, um Änderungen in Prozessparametern und Umgebungsbedingungen zu berücksichtigen. TOKYO ELECTRON Trias ist sehr anpassungsfähig an die heutigen Prozessanforderungen und bietet effiziente, wiederholbare und zuverlässige Ätzprozesse. Mit Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungsprozessen, einheitlicher Oberflächengüte und erweiterten Programmverwaltungsfunktionen bietet Trias bahnbrechende Leistung. TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist in der Lage, Volumina im Bereich von 0,1 bis 150 Liter zu entladen und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll verarbeiten. TEL Trias verfügt zudem über eine intelligente Alarmanlage zur Vorhersage, Überwachung und Vermeidung von Prozessfehlern und Verunreinigungen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Trias ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der präzise Steuerung und wiederholbare Leistung bietet und zuverlässige Ergebnisse gewährleistet. Mit seinem leistungsstarken Ätzen, erweiterten Programmverwaltungsfunktionen und intelligenten Alarmmodell liefert Trias zuverlässige Ergebnisse mit hohem Durchsatz und verlängerter Lebensdauer.
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