Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293778168 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das zur Präzisionsmusterung und Materialabscheidung von elektronischen Komponenten verwendet wird. Es ist in der Lage, Muster in einer Vielzahl von Substraten zu ätzen und ist zu einem Industriestandard für Halbleiterverpackungen und -konnektivität geworden. TEL Trias nutzt eine modulare Plattform, die für verschiedene Anwendungen angepasst werden kann und es ermöglicht, eine Vielzahl von Ätz- und Materialabscheidungsaufgaben effizient durchzuführen. TOKYO ELECTRON Trias besteht aus einer Primäreinheit, einer Gateeinheit, einem Lader/Entlader, einem Abtastmechanismus und einem Übertragungsmechanismus. Die Primäreinheit von Trias besteht aus einem Cluster von Elektronenstrahlverdampfungsquellen (EB VPS) und einer Plasmakammer. Der EB VPS wird verwendet, um das geätzte Muster über der Substratoberfläche abzuscheiden und bietet beispiellose Qualität und Präzision, indem die Menge des aufgebrachten Materials kontrolliert wird. Die Plasmakammer ist ein geschlossener Raum, der das vom EB VPS erzeugte Plasma enthält und zum Ätzen des Musters in das Substrat dient. Die Gate-Einheit von TEL/TOKYO ELECTRON Trias enthält ein Schieberventil und mehrere Steuer- und Überwachungseinrichtungen, die zur Steuerung der Materialmenge dienen, die aus dem EB VPS auf die Substratoberfläche gelangt. Der Lader/Entlader bietet eine automatisierte Übertragungsmöglichkeit zwischen der Substratlade-/Entladestation und dem Abtastmechanismus. Eine automatisierte Aktion mit Kommissionier- und Platzierungswerkzeugen hilft, Substrate effizienter zu be- und entladen. Der Abtastmechanismus umfasst einen Spindelkopf mit einer Abtastbewegung, der durch das Substrat in mehrere Richtungen scannt, um das Muster richtig zu ätzen. Der Übertragungsmechanismus umfasst ein automatisiertes Werkzeug, das das Substrat bei Bedarf zwischen dem Substratlader/Entlader und dem Abtastmechanismus überträgt. Dies ermöglicht eine effiziente Übertragung mit minimalem mechanischen Verschleiß. TEL Trias ist ein zuverlässiges Ätz- und Materialabscheidungssystem mit zahlreichen Funktionen, die es zu einem Industriestandard für Halbleiterverpackungen und -verbindungen machen. Sein modularer Aufbau und seine fortschrittliche Elektronenstrahl-Aufdampftechnologie bieten präzise, genaue und wiederholbare Musterung und Materialabscheidung von elektronischen Komponenten. Die hocheffizienten Be-/Entlademechanismen und automatisierten Werkzeuge bieten einen wiederholbaren, automatisierten Prozess und machen TOKYO ELECTRON Trias zu einer idealen Wahl für das Ätzen und Abscheiden komplexer Muster auf verschiedenen Materialien.