Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821470 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist eine fortschrittliche Etcher-Asher-Plattform zur Herstellung von elektronischen Bauelementen, Schaltungen und Wafern für Halbleiteranwendungen. Das Gerät bietet einen Naßätz-/Stripp- und Abscheide-/Lift-off-Prozess, mit dem mehrere Schichten aus komplexem Material und unterschiedlichen Dicken auf ein Substrat gemustert werden können. TEL Trias hat ein dreistufiges System mit einer oberen und unteren Kammer, die durch eine vertikale Kammer verbunden sind. Die obere Kammer dient der Waferübertragung und Reinigung, die untere Kammer dient dem Ätzen und Abstreifen und die vertikale Kammer dient der Regelung der Wafertemperatur, der Topographie des Wafers und der Anpassung der Masken- und Resistschichten. Das Gerät kann bis zu einem 8-Zoll-Wafer mit einer Mindestfunktionsgröße von 0,6 Mikrometer handhaben. Es ist ideal für die Verarbeitung empfindlicher Substrate wie Halbleiterscheiben, Dünnschichttransistoren und MEMs (Microelectromechanical Systems). Die pneumatisch gesteuerten Ventile ermöglichen eine präzise Steuerung von Ätzmittel und Lösungsmittel, ohne die empfindlichen Eigenschaften der Substrate zu denaturieren. TOKYO ELECTRON Trias ist mit einem Mikroskop und anderen bildgebenden Werkzeugen zur Visualisierung und Fehlererkennung der hergestellten Halbleiter, Fehlstellung und anderen Diskrepanzen sowie zur strengen Qualitätskontrolle ausgestattet. Darüber hinaus ist die Maschine mit fortschrittlichen Automatisierungskomponenten wie Probenladern und doppelten Gießsystemen ausgestattet. Dies ermöglicht eine einfachere und effizientere Verarbeitung von Materialien. Das Tool ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer Stickstoffreinigungsanlage und einem Feuerlöscher. Dies hilft, Kontaminationen und andere potenzielle Gefahren durch Fehlhandlungen von Chemikalien während der Ätzprozesse zu reduzieren. Trias verfügt über eine robuste und zuverlässige Leistung, die die Herstellung hochwertiger, präziser Halbleiterprodukte ermöglicht. Es ist auch kompakt, so dass es für die meisten Laborumgebungen geeignet ist. Das Modell ist zudem kostengünstig, da es auf die Minimierung von Chemie- und Geräteabfällen ausgelegt ist. Darüber hinaus erfüllt die Ausrüstung alle Umweltvorschriften und ist darauf ausgelegt, ihre Umweltbelastung zu minimieren.
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