Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Trias #293821837 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Trias ist ein Hochleistungs-Plasmaätzer/Ascher für die Halbleiter- und andere Industrien. Es wird verwendet, um kleine Halbleiterstrukturen und Wafer genau und sicher zu ätzen/aschen. Es bietet einen effizienten, kostengünstigen und fortschrittlichen Ätz-/Aschingprozess mit modularem Aufbau und integrierter Prozesssteuerungssoftware. TEL Trias bietet eine vielseitige Plattform für verschiedene Plasmaätz-/Ascheoperationen. TOKYO ELECTRON Trias wurde entwickelt, um höchste Präzision beim Ätzen/Aschen für eine Vielzahl von Substraten wie ein- und zweiseitige Wafer, keramikbeschichtete, metallbeschichtete und quarzbeschichtete Wafer bereitzustellen. Es ist in der Lage, Produkte aus einer breiten Palette von Materialtypen wie Kristall, Polykristall, Keramik, Silikon usw. zu verarbeiten. Es verfügt auch über eine sehr präzise Druckkontrolleinrichtung, die sehr hohe Ätzfrequenz Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht und ermöglicht das Ätzen von komplizierten Prozessen mit extrem hoher Präzision. Trias verfügt über mehrere Betriebsmodi wie Pre-Sputter, Sputtern, Ätzen und Sputter/Etch sowie die Möglichkeit, eine Operation gleichzeitig oder mehrere Operationen zusammen durchzuführen. Die integrierte Prozesssteuerungssoftware hat die Fähigkeit, mehrere verschiedene Prozesse gleichzeitig zu überwachen und zu bestellen, durch eine einzige Tastenbedienung. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON Trias über die Möglichkeit, bis zu 99 vorprogrammierte Rezeptschritte zu speichern, wodurch optimale Ätz-/Aschevorgänge möglich sind. TEL Trias verfügt auch über ein HSAR-System (High Speed Automatic Recipe Control), das Benutzern einen schnellen und einfachen Zugriff auf anpassbare Rezepte bietet, mit denen verschiedene Kombinationen von Materialien und Wafergrößen mit Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit geätzt werden können. Darüber hinaus verfügt die benutzerfreundliche Software über eine integrierte Kühleinheit, die eine schnelle Kühlung ermöglicht und ein Waferverziehen verhindert. Darüber hinaus stellt die automatisierte Funktion „Smart Home“ sicher, dass alle Komponenten und Zubehör für jeden Auftrag in der richtigen Position sind, was zeitaufwendige Vorbereitungen für das Setup eliminiert. Schließlich ist TOKYO ELECTRON Trias mit einem Langzeit-Datenaufzeichnungsgerät ausgestattet, das alle Daten im Zusammenhang mit Ätz-/Ascheoperationen aufzeichnet. Diese Daten können für Anlagenmanagement, Prozessentwicklung, Fehleranalyse und mehr verwendet werden. Das Aufnahmetool verfügt auch über einen Ereignisverlauf mit sequentiellem Datenformat, mit dem Benutzer verarbeitete Wafer analysieren und mögliche Probleme untersuchen können.